SiC вафли за чамец и држач за вертикална печка

SiC вафли за чамец и држач за вертикална печка

Брод од силициум карбидпрвенствено е за поддршка и транспорт на плочки во високотемпературни термички процеси на полупроводнички плочки, како што се дифузија, оксидација и жарење. Неговите перформанси директно влијаат на квалитетот на производот од плочките и ефикасноста на производството.

Структурните дизајни на брод од силициум карбидна плочка:
Типично има жлебеста или чешелеста структура;
Повеќе слотови за поставување и одвојување на плочки;
Дизајниран да ја земе предвид распределбата на протокот на гас, обезбедувајќи рамномерно греење и ладење;
Погодно за вертикална печка и хоризонтална печка;
Дизајнирано за различни големини како што се вафли од 3 инчи, 4 инчи, 6 инчи, 8 инчи, 12 инчи.

Бродовите од силициум карбид на VET Energy се изработени со напредна технологија на синтерување и се специјално дизајнирани да ги задоволат строгите барања за пренос на процесни материјали за напредно производство на полупроводници. Нивните супериорни технички предности првенствено се одразуваат во следниве аспекти:

1. Врвна чистота и ултра-ниска контаминација
Користејќи суровини со ултра висока чистота, ние гарантираме дека производот има екстремно ниска содржина на метални јони (помала од 1 ppm за Na, K, Fe и Ca). Минималните таложења на високи температури ефикасно спречуваат контаминација на плочки, обезбедувајќи висок принос на чипови и сигурност, што ги прави идеален избор за оние кои се стремат кон совршенство на процесот.
2. Одлични термички перформанси и стабилност
Нашите SiC пловни плочи имаат исклучително висока топлинска спроводливост и одлична отпорност на термички шокови. Тие можат да издржат брзи температурни флуктуации од собна температура до 1600℃ без пукање или деформација, обезбедувајќи повторување и конзистентност на процесот, значително намалувајќи го непланираното време на застој поради проблеми со носачот.
3. Извонредна отпорност на корозија и механичка цврстина
Високата тврдост и силната отпорност на абење, заедно со исклучителната отпорност на кисели и алкални средини, далеку ги надминуваат кварцот и графитот. Неговата исклучителна механичка цврстина ефикасно спречува создавање честички за време на често автоматизирано ракување, значително продолжувајќи го неговиот работен век и намалувајќи ги вкупните оперативни трошоци.
4. Прецизен дизајн и одлична конзистентност
Користејќи напредни технологии за лиење и обработка, ние гарантираме дека секој брод со плочки поседува прецизни геометриски димензии и одлична точност на површината, обезбедувајќи рамномерен распоред на плочките и стабилен проток на воздух.