Barco e suporte para wafer de SiC para forno vertical

Barco e suporte para wafer de SiC para forno vertical

barco de wafer de carboneto de silícioSua principal função é suportar e transportar os wafers em processos térmicos de alta temperatura de wafers semicondutores, como difusão, oxidação e recozimento. Seu desempenho afeta diretamente a qualidade do produto final e a eficiência da produção.

Projetos estruturais de barcos para wafers de carbeto de silício:
Normalmente possui uma estrutura ranhurada ou em forma de pente;
Múltiplos slots para colocar e separar wafers;
Projetado para levar em consideração a distribuição do fluxo de gás, garantindo aquecimento e resfriamento uniformes;
Adequado para fornos verticais e fornos horizontais;
Projetado para wafers de diferentes tamanhos, como 3 polegadas, 4 polegadas, 6 polegadas, 8 polegadas e 12 polegadas.

Os substratos de carboneto de silício da VET Energy são fabricados utilizando tecnologia avançada de sinterização e projetados especificamente para atender aos rigorosos requisitos de suporte de processo da fabricação de semicondutores avançados. Suas vantagens técnicas superiores se refletem principalmente nos seguintes aspectos:

1. Pureza máxima e baixíssima contaminação
Utilizando matérias-primas de altíssima pureza, garantimos que o produto tenha um teor extremamente baixo de íons metálicos (menos de 1 ppm para Na, K, Fe e Ca). A precipitação mínima em altas temperaturas previne eficazmente a contaminação do wafer, assegurando alto rendimento e confiabilidade dos chips, tornando-os a escolha ideal para quem busca a perfeição no processo.
2. Excelente desempenho térmico e estabilidade
Nossos substratos de silício (SiC) possuem condutividade térmica extremamente alta e excelente resistência ao choque térmico. Eles suportam rápidas flutuações de temperatura, da temperatura ambiente até 1600 °C, sem rachaduras ou deformações, garantindo repetibilidade e consistência do processo e reduzindo significativamente o tempo de inatividade não planejado devido a problemas com os substratos.
3. Resistência à corrosão e resistência mecânica extraordinárias
A elevada dureza e a forte resistência ao desgaste, juntamente com a excepcional resistência a ambientes ácidos e alcalinos, superam em muito o quartzo e o grafite. Sua excepcional resistência mecânica impede eficazmente a geração de partículas durante o manuseio automatizado frequente, prolongando significativamente sua vida útil e reduzindo os custos operacionais gerais.
4. Design de precisão e excelente consistência
Aproveitando tecnologias avançadas de moldagem e processamento, garantimos que cada recipiente para wafers possua dimensões geométricas precisas e excelente acabamento superficial, assegurando espaçamento uniforme entre os wafers e fluxo de ar estável.