Ọkọ̀ ojú omi àti ohun tí a fi dí i fún iná mànàmáná SiC

Ọkọ̀ ojú omi àti ohun tí a fi dí i fún iná mànàmáná SiC

Ọkọ̀ ojú omi wafer silikoni carbideni pataki fun atilẹyin ati gbigbe awọn wafers ninu awọn ilana ooru giga ti awọn wafer semiconductor bii itankale, oxidation, ati annealing. Iṣiṣẹ rẹ taara ni ipa lori didara ọja wafer ati ṣiṣe iṣelọpọ daradara.

Àwọn àwòrán ìṣètò ọkọ̀ ojú omi wafer silicon carbide:
Ó sábà máa ń ní ìrísí tí ó ní ihò tàbí tí ó dàbí ìgbámú;
Ọpọlọpọ awọn iho fun gbigbe ati yiya awọn wafers kuro;
A ṣe apẹrẹ lati ronu pinpin sisan gaasi, ṣiṣe idaniloju igbona ati itutu deede;
Ó yẹ fún iná mànàmáná àti iná mànàmáná tí ó wà ní ìsàlẹ̀;
A ṣe apẹrẹ fun awọn iwọn oriṣiriṣi bii awọn wafers 3inch, 4inch, 6inch, 8inch, ati 12inch.

Àwọn ọkọ̀ ojú omi onírin silikoni carbide ti VET Energy ni a fi ìmọ̀ ẹ̀rọ sintering tó ti ní ìlọsíwájú ṣe, a sì ṣe é ní pàtó láti bá àwọn ohun tí ó yẹ kí ó wà nínú iṣẹ́ ìṣẹ̀dá semiconductor tó ti ní ìlọsíwájú mu. Àwọn àǹfààní ìmọ̀ ẹ̀rọ tó ga jùlọ wọn hàn gbangba nínú àwọn apá wọ̀nyí:

1. Ìmọ́tótó Tó Gbéṣẹ́ Jùlọ àti Ìbàjẹ́ Tó Kéré Jùlọ
Nípa lílo àwọn ohun èlò aise tí ó ní ìwẹ̀nùmọ́ gíga, a rí i dájú pé ọjà náà ní ìwọ̀n ion irin tí ó kéré gan-an (tó kéré sí 1 ppm fún Na, K, Fe, àti Ca). Òjò tí ó kéré ní ìwọ̀n otútù gíga ń dènà ìbàjẹ́ wafer, ó ń rí i dájú pé ìyọrísí chip gíga àti ìgbẹ́kẹ̀lé rẹ̀ ga, èyí sì ń jẹ́ kí wọ́n jẹ́ àṣàyàn tí ó dára jùlọ fún àwọn tí ń gbìyànjú láti ṣe iṣẹ́ pípé.
2. Iṣẹ ati Iduroṣinṣin Gbona to dara julọ
Ọkọ̀ wafer SiC wa ní agbára ìgbóná tó ga gan-an àti agbára ìgbóná tó dára. Wọ́n lè fara da ìyípadà ooru kíákíá láti iwọ̀n otútù yàrá sí 1600℃ láìsí ìfọ́ tàbí ìbàjẹ́, èyí tó ń rí i dájú pé a lè tún ṣe é àti pé ó ń mú kí àkókò ìsinmi tí a kò gbèrò nítorí ìṣòro àwọn ohun èlò ìrùsókè dínkù gidigidi.
3. Agbara Ipalara Arinrin ati Agbara Ẹrọ
Agbara lile giga ati agbara lilo ti o lagbara, pelu resistance to tayọ si awọn agbegbe ekikan ati alkaline, ju quartz ati graphite lọ. Agbara ẹrọ ti o tayọ rẹ ṣe idiwọ iṣelọpọ awọn patikulu lakoko mimu adaṣe nigbagbogbo, o fa igbesi aye iṣẹ rẹ pọ si ati dinku awọn idiyele iṣiṣẹ gbogbogbo.
4. Apẹrẹ pipe ati ibamu to dara julọ
Nípa lílo àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìmọ́ àti ìṣiṣẹ́ tó ti ní ìlọsíwájú, a rí i dájú pé ọkọ̀ ojú omi wafer kọ̀ọ̀kan ní ìwọ̀n onígun mẹ́rin tó péye àti ìpéye ojú ilẹ̀ tó dára, èyí tó ń rí i dájú pé àlàfo wàrà kan náà wà láàárín wafer àti afẹ́fẹ́ tó dúró ṣinṣin.