SiC-kiekkovene ja pidike pystysuoraan uuniin

SiC-kiekkovene ja pidike pystysuoraan uuniin

Piikarbidikiekkoveneon ensisijaisesti tarkoitettu puolijohdekiekkojen tukemiseen ja kuljettamiseen korkean lämpötilan lämpöprosesseissa, kuten diffuusiossa, hapetuksessa ja hehkuttamisessa. Sen suorituskyky vaikuttaa suoraan kiekkotuotteen laatuun ja tuotantotehokkuuteen.

Piikarbidikiekkoveneen rakennesuunnittelu:
Tyypillisesti sillä on uritettu tai kampamainen rakenne;
Useita aukkoja kiekkojen asettamiseen ja erottamiseen;
Suunniteltu ottamaan huomioon kaasun virtauksen jakautumisen, mikä varmistaa tasaisen lämmityksen ja jäähdytyksen;
Sopii pystysuoraan ja vaakasuoraan uuniin;
Suunniteltu eri kokoisille levyille, kuten 3 tuuman, 4 tuuman, 6 tuuman, 8 tuuman ja 12 tuuman kiekoille.

VET Energyn piikarbidikiekkoveneet valmistetaan edistyneellä sintraustekniikalla, ja ne on erityisesti suunniteltu täyttämään edistyneen puolijohdevalmistuksen tiukat prosessikuljetusvaatimukset. Niiden erinomaiset tekniset edut näkyvät pääasiassa seuraavissa ominaisuuksissa:

1. Äärimmäinen puhtaus ja erittäin vähäinen kontaminaatio
Käyttämällä erittäin puhtaita raaka-aineita varmistamme, että tuotteen metalli-ionipitoisuus on erittäin alhainen (alle 1 ppm Na-, K-, Fe- ja Ca-ioneille). Minimaalinen saostuminen korkeissa lämpötiloissa estää tehokkaasti kiekkojen kontaminaation, mikä varmistaa korkean sirusaannon ja luotettavuuden, mikä tekee niistä ihanteellisen valinnan niille, jotka pyrkivät prosessien täydellisyyteen.
2. Erinomainen terminen suorituskyky ja vakaus
SiC-kiekkoveneellämme on erittäin korkea lämmönjohtavuus ja erinomainen lämmönshokin kestävyys. Ne kestävät nopeita lämpötilanvaihteluita huoneenlämmöstä 1600 ℃:een ilman halkeilua tai muodonmuutoksia, mikä varmistaa prosessin toistettavuuden ja yhdenmukaisuuden ja vähentää merkittävästi kantajaongelmien aiheuttamia suunnittelemattomia seisokkeja.
3.Erinomainen korroosionkestävyys ja mekaaninen lujuus
Korkea kovuus ja vahva kulutuskestävyys sekä poikkeuksellinen kestävyys happamissa ja emäksisissä ympäristöissä ohittavat reilusti kvartsin ja grafiitin. Sen poikkeuksellinen mekaaninen lujuus estää tehokkaasti hiukkasten muodostumisen usein toistuvan automatisoidun käsittelyn aikana, mikä pidentää merkittävästi sen käyttöikää ja alentaa kokonaiskäyttökustannuksia.
4. Tarkka suunnittelu ja erinomainen tasalaatuisuus
Hyödyntämällä edistyneitä muovaus- ja prosessointiteknologioita varmistamme, että jokaisella kiekkoveneellä on tarkat geometriset mitat ja erinomainen pinnan tarkkuus, mikä takaa tasaisen kiekkojen välistyksen ja vakaan ilmavirran.