deall halogiad wafer lled-ddargludyddion a'r weithdrefn glanhau

Pan fydd yn semenu inewyddion busnesMae deall cymhlethdod gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion yn angenrheidiol. Mae wafferi lled-ddargludyddion yn elfen hanfodol yn y diwydiant hwn, ond maent yn aml yn wynebu halogiad o amhureddau amrywiol. Gall yr halogion hyn, gan gynnwys atomau, mater organig, ïonau elfennau metelaidd, ac ocsidau, effeithio ar y broses gynhyrchu.

Gronynnaumegis polymer ac amhuredd ysgythru, mae ymddiriedaeth ar rym rhyngfoleciwlaidd i amsugno ar wyneb y wafer, gan effeithio ar ffotolithograffeg y ddyfais.amhureddau organigfel olew croen homo ac olew peiriant yn ffurfio ffilm ar y wafer, gan rwystro glanhau.ïonau elfennau metelaiddfel haearn ac alwminiwm yn aml yn cael eu tynnu trwy ffurfio cymhleth ïon elfen fetelaidd.Ocsidauyn rhwystro'r weithdrefn weithgynhyrchu ac fel arfer cânt eu tynnu trwy eu socian mewn asid hydrofflworig gwanedig.

dulliau cemegolyn cael eu defnyddio'n gyffredin i lanhau a chrynhoi wafferi lled-ddargludyddion. Mae technegau glanhau cemegol lleithder fel trochi mewn hydoddiant a sgwrio mecanyddol yn gyffredin. Mae dulliau glanhau uwchsonig a megasonig yn cynnig ffyrdd effeithlon o gael gwared ar amhuredd. Mae glanhau cemegol sych, gan gynnwys technoleg plasma a chyfnod nwy, hefyd yn chwarae rhan mewn prosesau glanhau wafferi lled-ddargludyddion.