عندما ينزل السائل المنوي إلىأخبار الأعماليُعد فهم تعقيد تصنيع أشباه الموصلات أمرًا ضروريًا. تُعدّ رقائق أشباه الموصلات مكونًا أساسيًا في هذه الصناعة، ولكنها غالبًا ما تتعرض للتلوث بشوائب متنوعة. تشمل هذه الشوائب الذرات، والمواد العضوية، والأيونات المعدنية، والأكسيد، مما قد يؤثر على عملية التصنيع.
الجسيماتمثل البوليمر وشوائب الحفر التي تعتمد على القوة بين الجزيئات لامتصاصها على سطح الرقاقة، تؤثر على جهاز الطباعة الضوئية.الشوائب العضويةمثل زيت جلد الإنسان وزيت الآلة، يشكلان طبقة رقيقة على الرقاقة، مما يعيق عملية التنظيف.أيونات العناصر المعدنيةمثل الحديد والألمنيوم، يتم إزالتها غالبًا من خلال تكوين معقد أيوني للعناصر المعدنية.أكاسيدتعيق عملية التصنيع ويتم إزالتها عادة عن طريق النقع في حمض الهيدروفلوريك المخفف.
الطرق الكيميائيةتُستخدم بشكل شائع لتنظيف وتقشير رقائق أشباه الموصلات. تسود تقنية التنظيف الكيميائي الرطب مثل غمر المحلول والفرك الميكانيكي. توفر طريقة التنظيف فوق الصوتية والميجا سونيك طرقًا فعالة لإزالة الشوائب. يلعب التنظيف الكيميائي الجاف، بما في ذلك تقنية البلازما والطور الغازي، أيضًا دورًا في عمليات تنظيف رقائق أشباه الموصلات.
وقت النشر: ٢٩ أكتوبر ٢٠٢٤