Ko gre za spermoposlovne noviceRazumevanje zahtevnosti izdelave polprevodnikov je nujno. Polprevodniške rezine so ključna komponenta v tej industriji, vendar se pogosto soočajo s kontaminacijo zaradi različnih nečistoč. Te nečistoče, vključno z atomi, organskimi snovmi, kovinskimi ioni in oksidi, lahko vplivajo na postopek izdelave.
Delcikot so polimerne in jedkalne nečistoče, ki se zanašajo na medmolekularno silo, da se adsorbirajo na površino rezine, vplivajo na fotolitografijo naprave.organske nečistočeTako kot olje homoseksualne kože in strojno olje tvorita film na rezini in ovirata čiščenje.ioni kovinskih elementovKot železo in aluminij se pogosto odstranijo z nastankom kompleksa kovinskih ionov.Oksidiovirajo postopek izdelave in se običajno odstranijo z namakanjem v razredčeni fluorovodikovi kislini.
kemijske metodeSe pogosto uporabljajo za čiščenje in sunčenje polprevodniških rezin. Prevladujejo tehnike kemičnega čiščenja z vlago, kot sta potopitev v raztopino in mehansko drgnjenje. Superzvočne in megazvočne metode čiščenja ponujajo učinkovite načine odstranjevanja nečistoč. Suho kemično čiščenje, vključno s plazemsko in plinskofazno tehnologijo, ima prav tako vlogo pri postopkih čiščenja polprevodniških rezin.
Čas objave: 29. oktober 2024