Wenn es Samen zuWirtschaftsnachrichtenDas Verständnis der komplexen Halbleiterfertigung ist unerlässlich. Halbleiterwafer sind entscheidende Komponenten dieser Industrie, weisen jedoch häufig Verunreinigungen durch verschiedene Stoffe auf. Zu diesen Verunreinigungen zählen Atome, organische Substanzen, Metallionen und Oxide, die den Herstellungsprozess beeinträchtigen können.
PartikelBeispielsweise beeinflussen Verunreinigungen wie Polymere und Ätzmittel, die auf intermolekularen Kräften beruhen, die Adsorption an der Waferoberfläche und somit die Photolithographie von Bauelementen.organische VerunreinigungenÄhnlich wie Hautfett und Maschinenöl einen Film auf der Oberfläche bilden, der die Reinigung behindert.MetallionenBeispielsweise werden Eisen und Aluminium häufig durch die Bildung von Metallionenkomplexen entfernt.Oxidebehindern den Herstellungsprozess und werden typischerweise durch Einweichen in verdünnter Fluorwasserstoffsäure entfernt.
chemische MethodenZur Reinigung und zum Rütteln von Halbleiterwafern werden häufig verschiedene Verfahren eingesetzt. Feuchtigkeitschemische Reinigungsverfahren wie das Eintauchen in Reinigungslösungen und mechanisches Schrubben sind weit verbreitet. Überschall- und Megaschallreinigungsverfahren bieten effiziente Möglichkeiten zur Entfernung von Verunreinigungen. Auch die trockene chemische Reinigung, einschließlich Plasma- und Gasphasentechnologie, spielt bei der Reinigung von Halbleiterwafern eine Rolle.
Veröffentlichungsdatum: 29. Oktober 2024