ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ ಮಾಲಿನ್ಯ ಮತ್ತು ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ವಿಧಾನವನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು

ವೀರ್ಯ ಸ್ರವಿಸುವಾಗವ್ಯಾಪಾರ ಸುದ್ದಿ, ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ವಿಸ್ತಾರತೆಯನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಅವಶ್ಯಕ. ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್‌ಗಳು ಈ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅಂಶಗಳಾಗಿವೆ, ಆದರೆ ಅವು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ವಿವಿಧ ರೀತಿಯ ಕಲ್ಮಶಗಳಿಂದ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಎದುರಿಸುತ್ತವೆ. ಪರಮಾಣು, ಸಾವಯವ ವಸ್ತುಗಳು, ಲೋಹದ ಅಂಶ ಅಯಾನು ಮತ್ತು ಆಕ್ಸೈಡ್‌ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ಈ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತವೆ.

ಕಣಗಳುಪಾಲಿಮರ್ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಅಶುದ್ಧತೆಗಳು ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲು ಅಂತರ-ಅಣು ಬಲದ ಮೇಲೆ ನಂಬಿಕೆ ಇಡುತ್ತವೆ, ಸಾಧನದ ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತವೆ.ಸಾವಯವ ಕಲ್ಮಶಗಳುಹೋಮೋ ಸ್ಕಿನ್ ಎಣ್ಣೆ ಮತ್ತು ಮೆಷಿನ್ ಎಣ್ಣೆಯಂತೆ ವೇಫರ್ ಮೇಲೆ ಫಿಲ್ಮ್ ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಗೆ ಅಡ್ಡಿಯಾಗುತ್ತದೆ.ಲೋಹೀಯ ಅಂಶ ಅಯಾನುಗಳುಕಬ್ಬಿಣ ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂನಂತಹವುಗಳನ್ನು ಲೋಹದ ಅಂಶ ಅಯಾನು ಸಂಕೀರ್ಣದ ರಚನೆಯ ಮೂಲಕ ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ.ಆಕ್ಸೈಡ್‌ಗಳುತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಅಡ್ಡಿಯಾಗುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸಿದ ಹೈಡ್ರೋಫ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲದಲ್ಲಿ ನೆನೆಸಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ.

ರಾಸಾಯನಿಕ ವಿಧಾನಗಳುಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಮತ್ತು ಜರ್ಕ್ ಮಾಡಲು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ದ್ರಾವಣ ಮುಳುಗುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸ್ಕ್ರಬ್‌ನಂತಹ ತೇವಾಂಶ ರಾಸಾಯನಿಕ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ತಂತ್ರವು ಚಾಲ್ತಿಯಲ್ಲಿದೆ. ಸೂಪರ್ಸಾನಿಕ್ ಮತ್ತು ಮೆಗಾಸಾನಿಕ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ವಿಧಾನವು ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಮಾರ್ಗಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಹಂತದ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ಒಣ ರಾಸಾಯನಿಕ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯು ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿಯೂ ಒಂದು ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ.