Khi nó xuất tinhtin tức kinh doanh, hiểu được sự phức tạp của quá trình chế tạo chất bán dẫn là điều cần thiết. Tấm bán dẫn là thành phần quan trọng trong ngành này, nhưng chúng thường phải đối mặt với tình trạng ô nhiễm từ nhiều tạp chất khác nhau. Các chất gây ô nhiễm này, bao gồm nguyên tử, chất hữu cơ, ion nguyên tố kim loại và oxit, có thể ảnh hưởng đến quy trình chế tạo.
Các hạtchẳng hạn như polyme và tạp chất khắc dựa vào lực liên phân tử để hấp thụ trên bề mặt của tấm wafer, ảnh hưởng đến quá trình quang khắc của thiết bị.tạp chất hữu cơgiống như dầu trên da người và dầu máy tạo thành lớp màng trên tấm wafer, cản trở việc vệ sinh.ion nguyên tố kim loạinhư sắt và nhôm thường được loại bỏ thông qua sự hình thành phức chất ion nguyên tố kim loại.Oxitcản trở quá trình chế tạo và thường được loại bỏ bằng cách ngâm trong axit flohydric loãng.
phương pháp hóa họcthường được sử dụng để làm sạch và giật wafer bán dẫn. Kỹ thuật làm sạch hóa chất bằng độ ẩm như ngâm trong dung dịch và chà cơ học đang được ưa chuộng. Phương pháp làm sạch siêu âm và megasonic cung cấp những cách hiệu quả để loại bỏ tạp chất. Làm sạch bằng hóa chất khô, bao gồm công nghệ plasma và pha khí, cũng đóng một vai trò trong các quy trình làm sạch wafer bán dẫn.
Thời gian đăng: 29-10-2024