Quand il s'agit de spermeactualités économiquesIl est essentiel de comprendre la complexité de la fabrication des semi-conducteurs. Les plaquettes de semi-conducteurs sont des composants essentiels de cette industrie, mais elles sont souvent contaminées par diverses impuretés. Ces contaminants, notamment les atomes, les matières organiques, les ions métalliques et les oxydes, peuvent impacter le processus de fabrication.
Particulescomme le polymère et les impuretés de gravure dépendent de la force intermoléculaire pour s'adsorber sur la surface de la plaquette, affectant la photolithographie du dispositif.impuretés organiquescomme l'huile de peau homo et l'huile de machine forment un film sur la plaquette, empêchant le nettoyage.ions d'éléments métalliquescomme le fer et l'aluminium, ils sont souvent éliminés par la formation d'un complexe d'ions d'éléments métalliques.Oxydesentravent la procédure de fabrication et sont généralement éliminés par trempage dans de l'acide fluorhydrique dilué.
méthodes chimiquessont couramment utilisés pour nettoyer et secouer les plaquettes de semi-conducteurs. Les techniques de nettoyage chimique à l'humidité telles que l'immersion dans la solution et le nettoyage mécanique sont prédominantes. Les méthodes de nettoyage supersonique et mégasonique offrent des moyens efficaces pour éliminer les impuretés. Le nettoyage chimique à sec, y compris la technologie plasma et en phase gazeuse, joue également un rôle dans les processus de nettoyage des plaquettes de semi-conducteurs.
Date de publication : 29 octobre 2024