Wann et Sperma zuGeschäftsnewsEt ass wichteg, d'Komplexitéit vun der Hallefleederfabrikatioun ze verstoen. Hallefleederwafere si wichteg Komponenten an dëser Industrie, awer si si dacks duerch verschidden Ongereinheeten kontaminéiert. Dës Kontaminanten, dorënner Atomer, organesch Matière, metallesch Elementer, Ionen an Oxiden, kënnen de Fabrikatiounsprozess beaflossen.
PartikelenWéi Polymer- an Ätzongereien, déi op d'intermolekular Kraaft vertrauen, fir op der Uewerfläch vum Wafer ze adsorbéieren, an doduerch d'Photolithographie vum Apparat beaflossen.organesch OngereimtheetenWéi Homo-Hautueleg a Maschinnueleg bilden e Film op der Wafer, wat d'Botzen behënnert.metallesch ElementionenWéi Eisen an Aluminium ginn dacks duerch d'Bildung vun engem metalleschen Element-Ionenkomplex ewechgeholl.Oxidenbehënneren d'Fabrikatiounsprozedur a ginn typescherweis duerch Aweiung an verdënntem Flusssäure ewechgeholl.
chemesch Methodengi meeschtens benotzt fir Hallefleederwafer ze botzen an ze ruckéieren. Fiichtegkeetschemie-Reinigungstechniken wéi Léisungstauchen a mechanesch Schrubben si verbreet. Iwwerschall- a Megaschall-Reinigungsmethoden bidden effizient Weeër fir Ongereinheeten ze entfernen. Dréchechemesch Reinigung, dorënner Plasma- a Gasphasentechnologie, spillt och eng Roll bei de Reinigungsprozesser fir Hallefleederwafers.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 29. Oktober 2024