Шәует қашанбизнес жаңалықтары, жартылай өткізгіштерді өндірудің күрделілігін түсіну өте маңызды. Жартылай өткізгіш пластиналар бұл салада маңызды құрамдас бөлік болып табылады, бірақ олар көбінесе әртүрлі қоспалардан ластануға ұшырайды. Атом, органикалық заттар, металл элемент ионы және оксид сияқты ластаушы заттар өндіріс процесіне әсер етуі мүмкін.
Бөлшектерполимер және ою қоспасы сияқты заттар пластина бетінде адсорбцияланатын молекулааралық күшке сенеді, бұл құрылғының фотолитографиясына әсер етеді.органикалық қоспаларпластинада тері майы мен машина майы сияқты пленка пайда болады, тазалауға кедергі келтіреді.металл элементінің иондарытемір және алюминий сияқты, олар көбінесе металл элемент иондық кешенінің түзілуі арқылы жойылады.Оксидтерөндіру процесіне кедергі келтіреді және әдетте сұйылтылған фторсутек қышқылына батыру арқылы жойылады.
химиялық әдістержартылай өткізгіш пластиналарды тазалау және тарту үшін кеңінен қолданылады. Ерітіндіні батыру және механикалық тазалау сияқты ылғалмен химиялық тазалау әдістері басым. Дыбыс деңгейінен жоғары және мегадыбыстық тазалау әдістері қоспаларды кетірудің тиімді жолдарын ұсынады. Құрғақ химиялық тазалау, плазмалық және газ фазалық технологияны қамтиды, сонымен қатар жартылай өткізгіш пластиналарды тазалау процестерінде де маңызды рөл атқарады.
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 29 қазан