Ал качан спермагабизнес жаңылыктары, жарым өткөргүчтөрдү жасоонун татаалдыгын түшүнүү зарыл. Жарым өткөргүч пластиналар бул тармакта маанилүү компонент болуп саналат, бирок алар көп учурда ар кандай кошулмалардан булганууга дуушар болушат. Бул булгоочу заттар, анын ичинде атом, органикалык заттар, металл элемент иону жана оксид, өндүрүш процессине таасир этиши мүмкүн.
Бөлүкчөлөрмисалы, полимер жана оюу аралашмасы пластинанын бетине адсорбциялоо үчүн молекулалар аралык күчкө ишенүү, түзмөктүн фотолитографиясына таасир этет.органикалык кошулмаларВафлиде тери майы жана машина майы сыяктуу пленка пайда болуп, тазалоого тоскоол болот.металл элементинин иондорутемир жана алюминий сыяктуу металл элементтеринин иондук комплексинин пайда болушу аркылуу көбүнчө бөлүнүп чыгат.Оксиддерөндүрүш процессине тоскоол болот жана адатта суюлтулган фторлуу суутек кислотасына чылоо менен алынып салынат.
химиялык ыкмаларжарым өткөргүч пластиналарды тазалоо жана түртүү үчүн кеңири колдонулат. Эритмени чөмүлдүрүү жана механикалык сүртүү сыяктуу нымдуулук менен химиялык тазалоо ыкмалары басымдуулук кылат. Үндөн жогору жана мегаүндү тазалоо ыкмалары кошулмаларды кетирүүнүн натыйжалуу жолдорун сунуштайт. Плазмалык жана газ фазасынын технологиясын камтыган кургак химиялык тазалоо жарым өткөргүч пластиналарды тазалоо процесстеринде да роль ойнойт.
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 29-октябры