yarı iletken gofret kirlenmesini ve temizleme prosedürünü anlama

Meni ne zamaniş haberleri, yarı iletken imalatının inceliklerini anlamak bir zorunluluktur. yarı iletken gofretler bu endüstride önemli bir bileşendir, ancak sıklıkla çeşitli safsızlıklardan kaynaklanan kirlenmelerle karşı karşıya kalırlar. Atom, organik madde, metalik element iyonu ve oksit gibi bu kirleticiler imalat prosedürünü etkileyebilir.

Parçacıklarpolimer ve aşındırma safsızlıkları gibi moleküller arası kuvvete güvenerek gofretin yüzeyine tutunur ve cihaz fotolitografisini etkiler.organik safsızlıklarHomojen cilt yağı ve makine yağı gibi ürünler plaka üzerinde film oluşturarak temizliği zorlaştırır.metalik element iyonlarıDemir ve alüminyum gibi metaller genellikle metalik element iyon komplekslerinin oluşumu yoluyla uzaklaştırılır.OksitlerÜretim prosedürünü engeller ve genellikle seyreltik hidroflorik asitte bekletilerek çıkarılır.

kimyasal yöntemlerGenellikle yarı iletken yongaları temizlemek ve sarsmak için kullanılır. Çözelti daldırma ve mekanik fırçalama gibi nemli kimyasal temizleme teknikleri yaygındır. Süpersonik ve megasonik temizleme yöntemi, kirliliği gidermek için etkili yollar sunar. Plazma ve gaz fazı teknolojisini içeren kuru kimyasal temizleme de yarı iletken yonga temizleme işlemlerinde rol oynar.