meni söz konusu olduğundaiş haberleriYarı iletken üretiminin karmaşıklığını anlamak bir zorunluluktur. Yarı iletken levhalar bu endüstride çok önemli bir bileşendir, ancak genellikle çeşitli safsızlıklardan kaynaklanan kirlenmeye maruz kalırlar. Atom, organik madde, metalik element iyonu ve oksit gibi bu kirleticiler üretim sürecini etkileyebilir.
ParçacıklarPolimer ve aşındırma safsızlıkları gibi maddeler, moleküller arası kuvvete dayanarak yonga yüzeyine tutunur ve bu da cihaz fotolitografisini etkiler.organik safsızlıklarİnsan derisindeki yağ ve makine yağı gibi kalıntılar, plaka üzerinde film tabakası oluşturarak temizliği zorlaştırır.metalik element iyonlarıDemir ve alüminyum gibi metaller genellikle metalik element iyon kompleksi oluşumu yoluyla uzaklaştırılır.OksitlerÜretim sürecini engellerler ve genellikle seyreltilmiş hidroflorik asitte bekletilerek giderilirler.
kimyasal yöntemlerGenellikle yarı iletken gofretlerin temizlenmesi ve parlatılması için kullanılırlar. Nemli kimyasal temizleme teknikleri, örneğin çözelti daldırma ve mekanik fırçalama, yaygındır. Süpersonik ve megasonik temizleme yöntemleri, safsızlıkları gidermek için etkili yollar sunar. Plazma ve gaz fazı teknolojisini içeren kuru kimyasal temizleme de yarı iletken gofret temizleme süreçlerinde rol oynar.
Yayın tarihi: 29 Ekim 2024