Dema ku sperm diçenûçeyên karsaziyê, têgihîştina hûrguliyên çêkirina nîvconductor pêdivî ye. Waferên nîvconductor di vê pîşesaziyê de pêkhateyek girîng in, lê ew pir caran ji ber qirêjiyên cûrbecûr bi qirêjbûnê re rû bi rû dimînin. Ev qirêjî, di nav de atom, madeya organîk, îyonên elementên metalî û oksîd, dikarin bandorê li pêvajoya çêkirinê bikin.
Perçewek polîmer û nepakbûna gravurkirinê, baweriya wan bi hêza navmolekulî heye ku li ser rûyê waferê were adsorbkirin, bandorê li fotolîtografiya cîhazê dike.nepakiyên organîkMîna rûnê çermê homo û rûnê makîneyê li ser waferê fîlm çêdikin û paqijkirinê asteng dikin.îyonên elementên metalîwek hesin û alumînyûm bi gelemperî bi çêkirina kompleksên îyonên elementên metalîk têne rakirin.Oksîtpêvajoya çêkirinê asteng dikin û bi gelemperî bi şilkirinê di asîda hîdroflorîk a zirav de têne rakirin.
rêbazên kîmyewîbi gelemperî ji bo paqijkirin û hejandina waferên nîvconductor têne bikar anîn. Teknîkên paqijkirina kîmyewî ya şilbûnê yên wekî binavbûna çareseriyê û firçekirina mekanîkî serdest in. Rêbazên paqijkirina supersonîk û megasonîk rêbazên bi bandor pêşkêş dikin ji bo rakirina nepakiyê. Paqijkirina kîmyewî ya hişk, ku teknolojiya plazma û qonaxa gazê jî dihewîne, di pêvajoyên paqijkirina waferên nîvconductor de jî rolek dilîzin.
Dema weşandinê: 29ê Cotmeha 2024an