जब यो वीर्यमा जान्छव्यापार समाचार, अर्धचालक निर्माणको विस्तृतता बुझ्नु आवश्यक छ। अर्धचालक वेफर यस उद्योगमा महत्त्वपूर्ण घटक हुन्, तर तिनीहरू प्रायः विभिन्न अशुद्धताबाट प्रदूषणको सामना गर्छन्। यी दूषित पदार्थहरू, जसमा परमाणु, जैविक पदार्थ, धातु तत्व आयन र अक्साइड समावेश छन्, ले निर्माण प्रक्रियालाई असर गर्न सक्छ।
कणहरूजस्तै पोलिमर र एचिंग अशुद्धता वेफरको सतहमा सोस्न अन्तरआणविक बलमा भर पर्छ, उपकरण फोटोलिथोग्राफीलाई असर गर्छ।जैविक अशुद्धताहरूजस्तै होम स्किन आयल र मेसिन आयलले वेफरमा फिल्म बनाउँछ, सफाईमा बाधा पुर्याउँछ।धातु तत्व आयनहरूफलाम र आल्मुनियम जस्ता पदार्थहरू प्रायः धातु तत्व आयन जटिलको गठन मार्फत हटाइन्छ।अक्साइडहरूनिर्माण प्रक्रियामा बाधा पुर्याउँछ र सामान्यतया पातलो हाइड्रोफ्लोरिक एसिडमा भिजाएर हटाइन्छ।
रासायनिक विधिहरूसामान्यतया अर्धचालक वेफर सफा गर्न र झट्का दिन प्रयोग गरिन्छ। समाधान डुबाउने र मेकानिकल स्क्रब जस्ता आर्द्र रासायनिक सफाई प्रविधिहरू प्रचलित छन्। सुपरसोनिक र मेगासोनिक सफाई विधिले अशुद्धता हटाउन प्रभावकारी तरिकाहरू प्रदान गर्दछ। प्लाज्मा र ग्यास चरण प्रविधि समावेश गर्ने सुख्खा रासायनिक सफाईले पनि अर्धचालक वेफर सफाई प्रक्रियाहरूमा भूमिका खेल्छ।
पोस्ट समय: अक्टोबर-२९-२०२४