የሴሚኮንዳክተር ዋፈር ብክለትን እና የጽዳት ሂደቱን መረዳት

የዘር ፍሬ ሲፈስስየንግድ ዜናየሴሚኮንዳክተር ማምረቻን ውስብስብነት መረዳት አስፈላጊ ነው። የሴሚኮንዳክተር ዋፈር በዚህ ኢንዱስትሪ ውስጥ ወሳኝ አካል ነው፣ ነገር ግን ብዙውን ጊዜ ከተለያዩ ርኩሰቶች ብክለት ይገጥማቸዋል። እነዚህ ብክለቶች አቶም፣ ኦርጋኒክ ቁስ፣ የብረታ ብረት ንጥረ ነገር አዮን እና ኦክሳይድን ጨምሮ የማምረቻ ሂደቱን ሊነኩ ይችላሉ።

ቅንጣቶችእንደ ፖሊመር እና የቆሻሻ ማስወገጃ ያሉ ቆሻሻዎች በዋፈር ወለል ላይ ለመምጠጥ በመካከለኛ ሞለኪውላር ኃይል ላይ መተማመን የመሳሪያውን ፎቶሊቶግራፊ ይነካል።ኦርጋኒክ ቆሻሻዎችእንደ ሆሞ የቆዳ ዘይት እና በዋፈር ላይ የማሽን ዘይት ፎርም ፊልም፣ ጽዳትን ያደናቅፋሉ።የብረታ ብረት ንጥረ ነገሮች አዮኖችእንደ ብረት እና አልሙኒየም ያሉ ብዙ ጊዜ የብረት ንጥረ ነገር አዮን ውስብስብ በመፍጠር ይወገዳሉ።ኦክሳይድየማምረቻ ሂደቱን ያደናቅፋሉ እና በተለምዶ በተሟሟ ሃይድሮፍሎሪክ አሲድ ውስጥ በመጥለቅ ይወገዳሉ።

የኬሚካል ዘዴዎችየሴሚኮንዳክተር ዋፈርን ለማጽዳት እና ለመንቀል በብዛት ጥቅም ላይ ይውላሉ። እንደ መፍትሄ ውስጥ ጠልቆ መግባት እና ሜካኒካል ማጽጃ ያሉ የእርጥበት ኬሚካል ማጽጃ ዘዴዎች በብዛት ይገኛሉ። ሱፐርሶኒክ እና ሜጋሶኒክ የጽዳት ዘዴ ቆሻሻን ለማስወገድ ውጤታማ መንገዶችን ይሰጣሉ። ደረቅ ኬሚካል ማጽጃ፣ የፕላዝማ እና የጋዝ ደረጃ ቴክኖሎጂን ጨምሮ፣ በሴሚኮንዳክተር ዋፈር የጽዳት ሂደቶች ውስጥም ሚና ይጫወታሉ።