הבנת תהליך זיהום וניקוי פרוסות מוליכים למחצה

כאשר זה נובע מזרעחדשות עסקיותהבנת המורכבות של ייצור מוליכים למחצה היא הכרחית. פרוסות מוליכים למחצה הן מרכיב חיוני בתעשייה זו, אך הן לעיתים קרובות מתמודדות עם זיהום ממגוון זיהומים. מזהמים אלה, הכוללים אטומים, חומר אורגני, יוני יסוד מתכתיים ותחמוצות, יכולים להשפיע על תהליך הייצור.

חלקיקיםכגון פולימר וזיהומים באיכול, הסומכים על כוח בין-מולקולרי כדי להיספג על פני הוופל, ומשפיעים על הפוטוליתוגרפיה של המכשיר.זיהומים אורגנייםכמו שמן עור הומו ושמן מכונה יוצרים שכבה על הוופל, מה שמפריע לניקוי.יוני יסוד מתכתייםכמו ברזל ואלומיניום מוסרים לעיתים קרובות באמצעות היווצרות קומפלקס יוני יסוד מתכתי.תחמוצותמעכבים את תהליך הייצור ובדרך כלל מוסרים על ידי השרייה בחומצה הידרופלואורית מדוללת.

שיטות כימיותמשמשים בדרך כלל לניקוי ויצירת תהליכי ניקוי פרוסות מוליכים למחצה. טכניקות ניקוי כימיות בלחות, כגון טבילה בתמיסה וקרצוף מכני, הן נפוצות. שיטות ניקוי על-קוליות ומגה-קוליות מציעות דרכים יעילות להסרת זיהומים. ניקוי כימי יבש, הכולל טכנולוגיית פלזמה וגז, ממלא גם הוא תפקיד בתהליכי ניקוי פרוסות מוליכים למחצה.