ബീജം സ്രവിക്കുമ്പോൾബിസിനസ് വാർത്തകൾസെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിന്റെ സങ്കീർണ്ണത മനസ്സിലാക്കേണ്ടത് അത്യാവശ്യമാണ്. സെമികണ്ടക്ടർ വേഫറുകൾ ഈ വ്യവസായത്തിൽ നിർണായക ഘടകമാണ്, പക്ഷേ അവ പലപ്പോഴും വിവിധ മാലിന്യങ്ങളിൽ നിന്നുള്ള മലിനീകരണത്തെ അഭിമുഖീകരിക്കുന്നു. ആറ്റം, ജൈവവസ്തുക്കൾ, ലോഹ മൂലക അയോൺ, ഓക്സൈഡ് എന്നിവയുൾപ്പെടെയുള്ള ഈ മലിനീകരണം നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയെ ബാധിച്ചേക്കാം.
കണികകൾപോളിമർ, എച്ചിംഗ് ഇംപ്യൂരിറ്റി എന്നിവ വേഫറിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ആഗിരണം ചെയ്യാനുള്ള ഇന്റർമോളിക്യുലാർ ബലത്തിലുള്ള വിശ്വാസം ഉപകരണ ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫിയെ ബാധിക്കുന്നു.ജൈവ മാലിന്യങ്ങൾഹോമോസ്കിൻ ഓയിലും മെഷീൻ ഓയിലും പോലെ വേഫറിൽ ഫിലിം രൂപപ്പെടുകയും വൃത്തിയാക്കലിന് തടസ്സമാകുകയും ചെയ്യുന്നു.ലോഹ മൂലക അയോണുകൾഇരുമ്പ്, അലൂമിനിയം എന്നിവ പോലുള്ള ലോഹ മൂലക അയോൺ കോംപ്ലക്സ് രൂപപ്പെടുന്നതിലൂടെ പലപ്പോഴും നീക്കം ചെയ്യപ്പെടുന്നു.ഓക്സൈഡുകൾനിർമ്മാണ പ്രക്രിയയെ തടസ്സപ്പെടുത്തുകയും സാധാരണയായി നേർപ്പിച്ച ഹൈഡ്രോഫ്ലൂറിക് ആസിഡിൽ മുക്കി നീക്കം ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു.
രാസ രീതികൾസെമികണ്ടക്ടർ വേഫർ വൃത്തിയാക്കാനും ജെർക്ക് ചെയ്യാനും സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ലായനി മുങ്ങൽ, മെക്കാനിക്കൽ സ്ക്രബ് തുടങ്ങിയ ഈർപ്പം കെമിക്കൽ ക്ലീനിംഗ് സാങ്കേതികതകൾ നിലവിലുണ്ട്. സൂപ്പർസോണിക്, മെഗാസോണിക് ക്ലീനിംഗ് രീതികൾ മാലിന്യങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള കാര്യക്ഷമമായ മാർഗങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. പ്ലാസ്മ, ഗ്യാസ് ഫേസ് സാങ്കേതികവിദ്യ ഉൾപ്പെടെയുള്ള ഡ്രൈ കെമിക്കൽ ക്ലീനിംഗ്, സെമികണ്ടക്ടർ വേഫർ ക്ലീനിംഗ് പ്രക്രിയകളിലും ഒരു പങ്കു വഹിക്കുന്നു.
പോസ്റ്റ് സമയം: ഒക്ടോബർ-29-2024