Þegar það sæðir tilviðskiptafréttirÞað er nauðsynlegt að skilja flækjustig framleiðslu hálfleiðara. Hálfleiðaraskífur eru mikilvægur þáttur í þessari iðnaði, en þær mengast oft af ýmsum óhreinindum. Þessi mengunarefni, þar á meðal atóm, lífræn efni, málmjónir og oxíð, geta haft áhrif á framleiðsluferlið.
agnirSvo sem óhreinindi í fjölliðum og etsun, sem treysta á millisameindakraft til að aðsogast á yfirborð skífunnar, hafa áhrif á ljósritun tækisins.lífræn óhreinindiEins og homohúðolía og vélaolía mynda filmu á skífunni sem hindrar þrif.jónir málmfrumefnaEins og járn og ál eru oft fjarlægð með myndun jónafléttu málmþátta.Oxíðhindra framleiðsluferlið og eru venjulega fjarlægð með því að leggja í bleyti í þynntri flúorsýru.
efnafræðilegar aðferðirEru almennt notaðar til að hreinsa og rykkja hálfleiðaraskífur. Rakaþrif með efnafræðilegri aðferð, svo sem að setja í lausn og vélræn skrúbb, eru algeng. Hljóð- og megahljóðþrif bjóða upp á skilvirkar leiðir til að fjarlægja óhreinindi. Þurrhreinsun með efnafræðilegri aðferð, þar á meðal plasma- og gasfasatækni, gegnir einnig hlutverki í hreinsunarferlum á hálfleiðaraskífum.
Birtingartími: 29. október 2024