Nígbà tí ó bá ń ṣẹ̀dá ọmọawọn iroyin iṣowo, òye bí iṣẹ́ amúṣẹ́ semiconductor ṣe ṣe pàtàkì. wafer semiconductor jẹ́ apá pàtàkì nínú iṣẹ́ yìí, ṣùgbọ́n wọ́n sábà máa ń dojúkọ ìbàjẹ́ láti inú onírúurú àìmọ́. Àwọn ohun ìbàjẹ́ wọ̀nyí, pẹ̀lú átọ̀mù, ohun èlò organic, ion element metallic, àti oxide, lè ní ipa lórí ìlànà iṣẹ́ amúṣẹ́.
Àwọn èròjàbí ìgbẹ́kẹ̀lé àìmọ́ polima àti ìfọ́mọ́ ẹ̀gbin lórí agbára intermolecular láti fa mọ́ ojú wafer náà, ní ipa lórí fọ́tòlithography ẹ̀rọ náà.àwọn ohun àìmọ́ àdánidábíi epo awọ ara homo àti fíìmù epo ẹ̀rọ lórí wafer, ó ń dí ìwẹ̀nùmọ́ lọ́wọ́.àwọn ions ohun èlò irinbíi irin àti aluminiomu ni a sábà máa ń yọ kúrò nípasẹ̀ ìṣẹ̀dá ion complex ti àwọn ohun èlò irin.Àwọn oxideWọ́n máa ń dín iṣẹ́ ṣíṣe kù, wọ́n sì máa ń yọ wọ́n kúrò nípa fífi omi hydrofluoric acid tí a ti pò sínú rẹ̀.
awọn ọna kemikaliWọ́n sábà máa ń lò ó láti nu àti láti fi fa omi semiconductor mọ́. Ọ̀nà ìfọmọ́ kemikali ọrinrin bíi omi ìṣàn omi àti ẹ̀rọ ìfọ́ mọ́nákì ló gbajúmọ̀. Ọ̀nà ìfọmọ́ supersonic àti megasonic ń fúnni ní ọ̀nà tó gbéṣẹ́ láti mú àìmọ́ kúrò. Ìfọmọ́ kemikali gbígbẹ, pẹ̀lú ìmọ̀ ẹ̀rọ plasma àti gáàsì phase, tún ń kó ipa pàtàkì nínú àwọn ìlànà ìfọmọ́ semiconductor wafer.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹ̀wàá-29-2024