Вақте ки нутфа бахабарҳои тиҷоратӣ, дарки мураккабии истеҳсоли нимноқилҳо зарур аст. Васлкунакҳои нимноқил ҷузъи муҳим дар ин соҳа мебошанд, аммо онҳо аксар вақт бо олудагӣ аз ифлосиҳои гуногун рӯбарӯ мешаванд. Ин олудакунандаҳо, аз ҷумла атом, моддаҳои органикӣ, иони элементҳои металлӣ ва оксид, метавонанд ба раванди истеҳсол таъсир расонанд.
Зарраҳоба монанди полимер ва кандакорӣ, ки ба қувваи байнимолекулавӣ эътимод доранд, ки дар сатҳи вафл адсорбсия мекунанд ва ба фотолитографияи дастгоҳ таъсир мерасонанд.ифлосҳои органикӣмисли равғани пӯсти ҳомо ва равғани мошин дар плёнка пайдо мешаванд, ба тозакунӣ халал мерасонанд.ионҳои элементҳои металлӣба монанди оҳан ва алюминий аксар вақт тавассути ташаккули комплекси ионҳои элементҳои металлӣ хориҷ карда мешаванд.Оксидҳораванди истеҳсолотро халалдор мекунанд ва одатан бо тар кардан дар кислотаи гидрофтордори ҳалшуда хориҷ карда мешаванд.
усулҳои кимиёвӣОнҳо маъмулан барои тоза ва ларзонидани пластинаҳои нимноқилӣ истифода мешаванд. Усулҳои тозакунии кимиёвии намӣ, ба монанди ғарқ кардани маҳлул ва тозакунии механикӣ, бартарӣ доранд. Усулҳои тозакунии фаврӣ ва мегасадоӣ роҳҳои самараноки тоза кардани ифлосӣ пешниҳод мекунанд. Тозакунии хушки кимиёвӣ, ки технологияи фазаи плазма ва газиро дар бар мегирад, инчунин дар равандҳои тозакунии пластинаҳои нимноқилӣ низ нақш мебозанд.
Вақти нашр: 29 октябри соли 2024