Keď ide o spermieobchodné správyPochopenie zložitosti výroby polovodičov je nevyhnutnosťou. Polovodičové doštičky sú kľúčovou súčasťou v tomto odvetví, ale často čelia kontaminácii rôznymi nečistotami. Medzi tieto kontaminanty patria atómy, organické látky, ióny kovových prvkov a oxidy, ktoré môžu ovplyvniť proces výroby.
Časticeako napríklad polymér a leptané nečistoty, ktoré sa spoliehajú na medzimolekulárnu silu adsorbujúcu sa na povrch doštičky, ovplyvňujú fotolitografiu zariadenia.organické nečistotyNapríklad homosexuálny kožný olej a strojový olej tvoria na oblátke film, ktorý bráni čisteniu.ióny kovových prvkovako železo a hliník sa často odstraňujú tvorbou komplexu iónov kovových prvkov.Oxidybránia výrobnému procesu a zvyčajne sa odstraňujú namáčaním v zriedenej kyseline fluorovodíkovej.
chemické metódysa bežne používajú na čistenie a trhanie polovodičových doštičiek. Prevládajú techniky chemického čistenia vlhkosťou, ako je ponorenie do roztoku a mechanické drhnutie. Supersonické a megasonické metódy čistenia ponúkajú účinné spôsoby odstránenia nečistôt. Suché chemické čistenie, vrátane plazmovej a plynovej fázovej technológie, tiež zohráva úlohu v procesoch čistenia polovodičových doštičiek.
Čas uverejnenia: 29. októbra 2024