As it sperma oansaaklik nijsIt is needsaaklik om de útwurking fan healgeleiderfabrikaazje te begripen. Healgeleiderwafers binne in krúsjaal ûnderdiel yn dizze yndustry, mar se wurde faak fersmoarge troch ferskate ûnreinheden. Dizze fersmoargingen, ynklusyf atomen, organyske matearje, metaaleleminten, ionen en oksiden, kinne ynfloed hawwe op it fabrikaazjeproses.
Dieltsjeslykas polymeer en etsûnreinheden fertrouwe op yntermolekulêre krêft om te adsorbearjen op it oerflak fan 'e wafer, en beynfloedzje de fotolitografy fan it apparaat.organyske ûnreinhedenLykas homohûdoalje en masine-oalje foarmje in film op 'e wafer, wat it skjinmeitsjen hinderet.metalen elemintionenlykas izer en aluminium wurde faak fuorthelle troch de foarming fan in metaalelemint-ionkompleks.Oksydenhinderje de fabrikaazjeproseduere en wurde typysk fuorthelle troch weak yn ferdund fluorwetterstofsoer.
gemyske metoadenwurde faak brûkt om healgeleiderwafers skjin te meitsjen en te rukken. Fochtgemyske reinigingstechniken lykas ûnderdompeling yn oplossing en meganyske skrobben binne oerhearskjend. Supersonyske en megasonyske reinigingsmetoaden biede effisjinte manieren om ûnreinheden te ferwiderjen. Droege gemyske reiniging, omfettet plasma- en gasfazetechnology, spilet ek in funksje yn 'e reinigingsprosessen fan healgeleiderwafers.
Pleatsingstiid: 29 oktober 2024