Үрийн шингэн гарах үедбизнесийн мэдээХагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн нарийн төвөгтэй байдлыг ойлгох нь зайлшгүй шаардлагатай. Хагас дамжуулагч хавтангууд нь энэ салбарт чухал бүрэлдэхүүн хэсэг боловч тэдгээр нь ихэвчлэн янз бүрийн хольцоос бохирдолтой тулгардаг. Атом, органик бодис, металл элементийн ион, исэл зэрэг эдгээр бохирдуулагчид нь үйлдвэрлэлийн процесст нөлөөлж болно.
БөөмсПолимер болон сийлбэрийн хольц нь молекул хоорондын хүчээр дамжин ваферын гадаргуу дээр адсорбцлогдож, төхөөрөмжийн фотолитографид нөлөөлдөг.органик хольцАрьсны тос болон машины тосны хальсан дээр хальсан бүрхүүл үүсгэсэн шиг цэвэрлэгээнд саад болдог.металл элементийн ионуудтөмөр, хөнгөн цагаан гэх мэт нь ихэвчлэн металл элементийн ионы цогцолбор үүсэх замаар арилдаг.Оксидуудүйлдвэрлэлийн процесст саад учруулж, ихэвчлэн шингэрүүлсэн фторын хүчилд дэвтээж арилгадаг.
химийн аргуудхагас дамжуулагч вафлийг цэвэрлэх, огцом татахад түгээмэл хэрэглэгддэг. Уусмалыг дүрэх, механик үрэлт зэрэг чийгийн химийн цэвэрлэгээний аргууд зонхилж байна. Дуунаас дээш болон мега дууны цэвэрлэгээний аргууд нь хольцыг арилгах үр дүнтэй аргуудыг санал болгодог. Хуурай химийн цэвэрлэгээ нь плазмын болон хийн фазын технологийг багтаасан бөгөөд хагас дамжуулагч вафлийг цэвэрлэх процесст мөн үүрэг гүйцэтгэдэг.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 10-р сарын 29