Hazia noiz iristen dennegozio albisteak, erdieroaleen fabrikazioaren konplexutasuna ulertzea ezinbestekoa da. Erdieroaleen obleak funtsezko osagaiak dira industria honetan, baina askotan hainbat ezpurutasunen kutsadura jasaten dute. Kutsatzaile hauek, besteak beste, atomoak, materia organikoak, elementu metalikoen ioiak eta oxidoak, fabrikazio prozesuan eragina izan dezakete.
PartikulakPolimeroak eta grabatzeko ezpurutasunak, hala nola, molekula arteko indarraren mende daudenean, oblearen gainazalean itsasteko, gailuaren fotolitografian eragina dute.ezpurutasun organikoakHomo skin olioak eta makina olioak bezala, filma sortzen dute oblean, garbiketa oztopatzen dute.elementu metalikoen ioiakburdina eta aluminioa bezala, askotan elementu metaliko ioi konplexuak eratuz kentzen dira.Oxidoakfabrikazio-prozedura oztopatzen dute eta normalean azido fluorhidriko diluituan bustiz kentzen dira.
metodo kimikoakErdieroaleen obleak garbitzeko eta astinduz egiteko erabili ohi dira. Hezetasun bidezko garbiketa kimikoaren teknikak, hala nola, disoluzio murgiltzea eta eskuila mekanikoa, nagusi dira. Garbiketa supersoniko eta megasoniko metodoek ezpurutasunak kentzeko modu eraginkorrak eskaintzen dituzte. Garbiketa kimiko lehorrak, plasma eta gas faseko teknologiak barne, ere funtzio bat betetzen dute erdieroaleen obleak garbitzeko prozesuetan.
Argitaratze data: 2024ko urriaren 29a