Kun se siemennestettäliike-elämän uutisetPuolijohdevalmistuksen monimutkaisuuden ymmärtäminen on välttämätöntä. Puolijohdekiekot ovat olennainen osa tätä teollisuutta, mutta ne kohtaavat usein kontaminaatiota erilaisista epäpuhtauksista. Nämä epäpuhtaudet, kuten atomit, orgaaninen aine, metalli-ionit ja oksidit, voivat vaikuttaa valmistusprosessiin.
HiukkasetKuten polymeeri ja etsausepäpuhtaudet, jotka luottavat molekyylien väliseen voimaan adsorboituakseen kiekon pinnalle, vaikuttavat laitteen fotolitografiaan.orgaaniset epäpuhtaudetKuten ihon ja koneen öljy, jotka muodostavat kiekolle kalvon, ne vaikeuttavat puhdistusta.metallien ionitkuten rauta ja alumiini, poistetaan usein metallisen alkuaineen ionikompleksien muodostumisen kautta.Oksiditvaikeuttavat valmistusprosessia ja ne poistetaan tyypillisesti liottamalla laimeassa fluorivetyhapossa.
kemialliset menetelmätkäytetään yleisesti puolijohdekiekkojen puhdistukseen ja nyppimiseen. Kosteus-kemialliset puhdistustekniikat, kuten liuosupotus ja mekaaninen hankaus, ovat vallitsevia. Yliääni- ja megasooniset puhdistusmenetelmät tarjoavat tehokkaita tapoja poistaa epäpuhtauksia. Kuivakemiallinen puhdistus, johon kuuluvat plasma- ja kaasufaasiteknologia, on myös tärkeä osa puolijohdekiekkojen puhdistusprosesseja.
Julkaisuaika: 29.10.2024