Susceptor de grafito recubierto de carburo de silicio para grabado de LED

Descripción breve:

El susceptor de carburo de silicio para grabado de LED (bandeja de SiC) es un accesorio especial para el grabado profundo de silicio (máquina de grabado ICP). El portador de obleas, también conocido como portador de obleas, es un portador de obleas de silicio, también conocido como oblea de bolsillo. Se utiliza ampliamente en CVD de semiconductores y pulverización catódica al vacío.


Detalle del producto

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El susceptor recubierto de carburo de silicio esa llaveComponente utilizado en diversos procesos de fabricación de semiconductores.Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar el susceptor recubierto de carburo de silicio conpureza extremadamente alta,bienrevestimientouniformidady una excelente vida útil, así comoAltas propiedades de resistencia química y estabilidad térmica.

VET Energy es elFabricante real de productos de grafito y carburo de silicio personalizados con recubrimiento CVD,puede suministrarvariosPiezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica. ONuestro equipo técnico proviene de las mejores instituciones de investigación nacionales y puede brindar soluciones de materiales más profesionales.para ti.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiales más avanzados,yHan desarrollado una tecnología patentada exclusiva que puede hacer que la unión entre el revestimiento y el sustrato sea más fuerte y menos propensa a desprenderse.

FCaracterísticas de nuestros productos:

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas hasta 1700°C.
2. Alta pureza yuniformidad térmica
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Mayor vida útil y mayor durabilidad.

ECV SiC薄膜基本物理性能

Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento

性质 / Propiedad

典型数值 / Valor típico

晶体结构 / Estructura cristalina

Fase β de FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densidad

3,21 g/cm³

硬度 / Dureza

2500 libras (carga de 500 g)

晶粒大小 / Tamaño del grano

2~10 μm

纯度 / Pureza química

99.99995%

热容 / Capacidad calorífica

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura de sublimación

2700℃

抗弯强度 / Resistencia a la flexión

415 MPa RT 4 puntos

杨氏模量 / Módulo de Young

430 Gpa, curva de 4 puntos, 1300 ℃

导热系数 / TermayoConductividad

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 Expansión térmica (CTE)

4,5×10-6K-1

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Le damos una cálida bienvenida para visitar nuestra fábrica, ¡tengamos más discusión!

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