Susceptor de grafito recubierto de carburo de silicio para grabado de LED

Breve descripción:

El susceptor de carburo de silicio para grabado de LED (bandeja de SiC) es un accesorio especial para el grabado profundo de silicio (máquina de grabado ICP). El portaobleas, también conocido como portaobleas de silicio o portaobleas de bolsillo, se utiliza ampliamente en la deposición química de vapor (CVD) de semiconductores y en la pulverización catódica al vacío.

 


Detalles del producto

Etiquetas de producto

El susceptor recubierto de carburo de silicio esa llaveComponente utilizado en diversos procesos de fabricación de semiconductores.Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar el susceptor recubierto de carburo de silicio conpureza extremadamente alta,bienrevestimientouniformidady una excelente vida útil, así comoAlta resistencia química y propiedades de estabilidad térmica.

VET Energy es elFabricante real de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con recubrimiento CVD,puede suministrarvariosComponentes personalizados para la industria de semiconductores y fotovoltaica. ONuestro equipo técnico proviene de las mejores instituciones de investigación nacionales y puede proporcionar soluciones de materiales más profesionales.para ti.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiales más avanzados,yHan desarrollado una tecnología exclusiva patentada que permite una unión más firme entre el recubrimiento y el sustrato, reduciendo la probabilidad de desprendimiento.

FCaracterísticas de nuestros productos:

1. Alta resistencia a la oxidación a temperaturas de hasta 1700.
2. Alta pureza yuniformidad térmica
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Mayor vida útil y mayor durabilidad.

Enfermedad cardiovascular SiC薄膜基本物理性能

Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento

性质 / Propiedad

典型数值 / Valor típico

晶体结构 Estructura cristalina

Fase β de la FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densidad

3,21 g/cm³

硬度 / Dureza

2500 libras (carga de 500 g)

晶粒大小 / Tamaño del grano

2~10 μm

纯度 Pureza química

99,99995%

热容 Capacidad calorífica

640 J·kg-1·K-1

升华温度 Temperatura de sublimación

2700℃

抗弯强度 / Resistencia a la flexión

415 MPa RT 4 puntos

杨氏模量 Módulo de Young

430 GPa, codo de 4 puntos, 1300 ℃

导热系数 / ThermalConductividad

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

¡Les invitamos cordialmente a visitar nuestra fábrica! ¡Conversemos pronto!

生产设备

 

公司客户

 

 


  • Anterior:
  • Próximo:

  • ¡Chat online de WhatsApp!