El soporte de recubrimiento de SiC para RTP/RTA es un componente clave utilizado en los procesos de fabricación de semiconductores denominados Procesamiento Térmico Rápido y Recocido. Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar el soporte de carburo de silicio con una pureza extremadamente alta, una buena uniformidad de recubrimiento y una excelente vida útil, así como propiedades de alta resistencia química y estabilidad térmica.
Características de nuestros productos:
1. Alta resistencia a la oxidación a temperaturas de hasta 1700℃.
2. Alta pureza y uniformidad térmica
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Mayor vida útil y mayor durabilidad.
| Enfermedad cardiovascular SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento | |
| 性质 / Propiedad | 典型数值 / Valor típico |
| 晶体结构 Estructura cristalina | Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densidad | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Dureza | 2500 libras (carga de 500 g) |
| 晶粒大小 / Tamaño del grano | 2~10 μm |
| 纯度 Pureza química | 99,99995% |
| 热容 Capacidad calorífica | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 Temperatura de sublimación | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Resistencia a la flexión | 415 MPa RT 4 puntos |
| 杨氏模量 Módulo de Young | 430 GPa, codo de 4 puntos, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalConductividad | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy es un fabricante de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con diferentes recubrimientos, como recubrimiento de SiC, recubrimiento de TaC, recubrimiento de carbono vítreo, recubrimiento de carbono pirolítico, etc., y puede suministrar diversas piezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica.
Nuestro equipo técnico proviene de las mejores instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.
Desarrollamos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiales más sofisticados y hemos desarrollado una tecnología patentada exclusiva que permite una unión más firme entre el recubrimiento y el sustrato, reduciendo la probabilidad de desprendimiento.
¡Les invitamos cordialmente a visitar nuestra fábrica! ¡Conversemos pronto!
