Anillo de grafito recubierto de TaC

VET Energy se centra en la I+D y la producción de anillos de grafito recubiertos con carburo de tantalio (TaC) mediante deposición química de vapor (CVD) de alto rendimiento, y se compromete a proporcionar soluciones de materiales consumibles esenciales para las industrias de semiconductores, fotovoltaica y de alta temperatura. Nuestra tecnología de deposición química de vapor (CVD), desarrollada de forma independiente, forma un recubrimiento denso y uniforme de carburo de tantalio sobre la superficie del sustrato de grafito mediante procesos de precisión, mejorando significativamente la resistencia a altas temperaturas (>3000 ℃), la resistencia a la corrosión y la resistencia al choque térmico del producto, extendiendo su vida útil en más del triple y reduciendo los costes totales para los clientes.

Nuestras ventajas técnicas:
1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas.
En una atmósfera de aire a 1200 ℃, la tasa de aumento de peso por oxidación es ≤0,05 mg/cm²/h, lo que representa más de 3 veces la vida útil de resistencia a la oxidación del grafito ordinario, y es adecuado para condiciones de ciclos de calentamiento y enfriamiento de alta frecuencia.
2. Resistencia a la corrosión por silicio fundido/metal
El recubrimiento de TaC es extremadamente inerte a metales como el silicio líquido (1600 ℃), el aluminio/cobre fundido, etc., evitando fallos estructurales de los anillos guía tradicionales debido a la penetración de metales, siendo especialmente adecuado para semiconductores de potencia y la fabricación de semiconductores de tercera generación.
3. Contaminación por partículas ultrabaja
El proceso CVD logra una densidad de recubrimiento superior al 99,5 % y una rugosidad superficial de Ra ≤ 0,2 μm, lo que reduce el riesgo de desprendimiento de partículas de la fuente y cumple con los estrictos requisitos de limpieza para la fabricación de obleas de 12 pulgadas.
4. Control preciso del tamaño
Gracias al mecanizado de precisión CNC, la tolerancia dimensional del sustrato de grafito es de ±0,01 mm y la deformación total tras el recubrimiento es <±5 μm, lo que resulta adecuado para su instalación en cámaras de equipos de alta precisión.