SiC bevonatú grafit MOCVD ostyahordozók szuszceptorok

Rövid leírás:

A VET Energy SiC bevonatú MOCVD szuszceptor epitaxiális növekedéshez egy nagy teljesítményű termék, amelyet úgy terveztek, hogy hosszú távon is konzisztens és megbízható teljesítményt nyújtson. Szuper jó hőállósággal és hőegyenletességgel, nagy tisztasággal és erózióállósággal rendelkezik, így tökéletes megoldást kínál wafer feldolgozási alkalmazásokhoz.