SiC bevonatú grafit MOCVD ostyahordozók szuszceptorok

Rövid leírás:

A VET Energy SiC bevonatú MOCVD szuszceptor epitaxiális növekedéshez egy nagy teljesítményű termék, amelyet úgy terveztek, hogy hosszú távon is konzisztens és megbízható teljesítményt nyújtson. Szuper jó hőállósággal és hőegyenletességgel, nagy tisztasággal és erózióállósággal rendelkezik, így tökéletes megoldást kínál wafer feldolgozási alkalmazásokhoz.

Küldjön nekünk e-mailt Letöltés PDF-ként

Termék részletei

Termékcímkék

SiC bevonatú grafit MOCVD ostyahordozók/szuszceptor

Minden szuszceptorunk nagy szilárdságú izosztatikus grafitból készül. Használja ki grafitjaink nagy tisztaságát – kifejezetten olyan kihívást jelentő folyamatokhoz fejlesztettük ki, mint az epitaxia, a kristálynövekedés, az ionimplantáció és a plazmamaratás, valamint a LED-chipek gyártása.

Termékeink jellemzői:

1. Magas hőmérsékletű oxidációs ellenállás akár 1700 ℃-ig.
2. Nagy tisztaság és termikus egyenletesség
3. Kiváló korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
4. Nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.
5. Hosszabb élettartam és tartósabb

szív- és érrendszeri betegségek SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat
性质 / Ingatlan	典型数值 / Tipikus érték
晶体结构 / Kristályszerkezet	FCC β fázis多晶，主要为（111）取向
密度 / Sűrűség	3,21 g/cm³
硬度 / Keménység	2500 维氏硬度 (500 g-os töltet)
晶粒大小 / Szemcseméret	2~10 μm
纯度 / Kémiai tisztaság	99,99995%
热容 / Hőkapacitás	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Szublimációs hőmérséklet	2700 ℃
抗弯强度 / Hajlítószilárdság	415 MPa RT 4-pontos
杨氏模量 / Young modulusa	430 Gpa 4pt hajlítás, 1300 ℃
导热系数 / ThermalVezetőképesség	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

A VET Energy a testreszabott grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója, különböző bevonatokkal, például SiC bevonattal, TaC bevonattal, üvegkarbon bevonattal, pirolitikus szénbevonattal stb., és különféle testreszabott alkatrészeket szállít a félvezető és fotovoltaikus ipar számára.

Műszaki csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből származik, és professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.

Folyamatosan fejlesztjük a fejlettebb eljárásokat, hogy fejlettebb anyagokat biztosítsunk, és kidolgoztunk egy exkluzív, szabadalmaztatott technológiát, amely szorosabbá és kevésbé hajlamosabbá teszi a bevonat és az aljzat közötti kötést.

Szeretettel várjuk gyárunkban, hogy megbeszélhessük a részleteket!