Zengila Grafîtê ya Bi Karbîda Tantalum a Poroz ve Hatî Pêçandin

Zengila Grafîtê ya Bi Karbîda Tantalum a Poroz ve Hatî Pêçandin
Grafîta bi karbîda tantalûmê ya poroz (TaC) pêçayîmateryalek sereke ye ku bi taybetî ji bo jîngehên germahiya bilind û korozîv ên hilberîna nîvconductoran hatiye pêşxistin. Bingeha wê grafîta îzostatîk a paqijiya bilind e, ku bi pêçek karbîda tantalum a poroz a yekreng bi karanîna danîna buxara kîmyewî (CVD) hatiye pêçandin. TaC xwedan hişkbûnek pir bilind e (9-10 li ser pîvana Mohs) û xala helandinê ya 3880°C ye. Ev materyal, digel aramiya germî ya hêja û taybetmendiyên sivik ên grafîtê, hêza germahiya bilind bi berxwedana li hember êrîşa kîmyewî û şoka germî re dike yek, ku ew dike hilbijartinek îdeal ji bo alavên pêvajoya nîvconductoran ên ku di bin şert û mercên dijwar de dixebitin.

Avantajên Grafîta Karbîda Tantalum a Porous:
1. Berxwedana Korozyonê ya Ultra-Bilind
-TaC ji hêla kîmyayî ve bêbandor e, bi bandor li hember korozyona halojenên wekî flor û klorê berxwe dide, û temenê alavan bi girîngî dirêj dike.
-Struktura poroz rûbera pêçanê zêde dike, astengiyeke parastinê ya xurttir çêdike û xetera rijandina perçeyan kêm dike.
2. Aramiya Germahiya Bilind a Hêja
-Bi xala helandinê ya nêzîkî 4000°C, ew dikare ji bo demên dirêj di valahî an atmosferên bêbandor ên ji 2500°C derbastir de bixebite.
-Kategorîya berfirehbûna germî ya pêçanê bi ya grafîtê re pir li hev tê, û pêşî li şikestin û veqetandina ji çerxên germî digire.
3. Paqijiya Bilind û Gemarbûna Kêm
-Bi karanîna madeyên xav û pêvajoyên asta nîvconductor, rêjeya nepakiya metal pir kêm e, û xetera qirêjbûna waferê bi girîngî kêm dike.
-Rûyê wê zexm û kîmyayî sabît e, çêbûna perçeyan kêm dike û li gorî pîvanên hişk ên odeyên paqijiyê ye.
4. Dizayna Taybet
Li gorî nexşeyên xerîdar, şeklên tevlihev dikarin werin hilberandin, û porozîtî û stûriya pêçanê dikare were kontrol kirin da ku herikîna gazê û rêberiya germî ya çêtirîn were bidestxistin.
5. Jiyana Dirêj û Mesrefa Parastinê ya Kêm
Berxwedana pir zêde ya korozyon û lixwekirinê ya pêçanên TaC yên poroz, li gorî grafîta kevneşopî, temenê pêkhateyan 3-5 caran zêde dike, û pirbûna guheztinê û lêçûnên lênêrînê kêm dike.

Serlêdanên Sereke
1. Pêkhateyên bingehîn ji bo çêkirina waferê
- Pêlên odeya reaksiyonê, bafl û serê serşokê ji bo alavên CVD/ALD
- Piştgiriyên hedefa PVD
- Pêkhateyên pêvajoyê yên germahiya bilind ji bo belavbûn, oksîdasyon, germkirin û pêvajoyên din
2. Sîstemên depokirina buhara kîmyewî
- Parastina pêkhateyên sereke di hawîrdorên pir korozîf de (wek florîd û klorîd) di dema pêvajoyê de
3. Jîngehên din ên korozîf ên germahiya bilind
- Ji bo paqijkirina gaza kîmyewî, firneyên dermankirina germê yên taybetî û serîlêdanên din guncan e.