SiC каптоо графити MOCVD пластина ташуучулары, SiC эпитаксиясы үчүн графит сусцепторлору

Кыскача сүрөттөмө:

Жарым өткөргүчтөр үчүн графит субстратынын SiC каптоосу жогорку тазалыкка жана кычкылдандыруучу атмосферага туруктуулукка ээ болгон тетиктерди чыгарат. CVD SiC же CVI SiC жөнөкөй же татаал дизайндагы тетиктердин графитине колдонулат. Каптоо ар кандай калыңдыкта жана өтө чоң тетиктерге колдонулушу мүмкүн.

Келип чыккан жери:Чжэцзян, Кытай (материк)

Моделдин номери:Моделдин номери:

Химиялык курамы:SiC менен капталган графит

Ийилүүнүн күчү:470 МПа

Жылуулук өткөрүмдүүлүгү:300 Вт/мК

Сапаты:Идеалдуу

Функциясы:CVD-SiC

Колдонмо:Жарым өткөргүч / Фотоэлектрдик

Тыгыздык:3,21 г/см³

Термикалык кеңейүү:4 10-6/K

Күл: <5ppm

Үлгү:Жеткиликтүү

HS коду:6903100000

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз PDF форматында жүктөп алуу

Продукциянын чоо-жайы

Продукциянын тегдери

SiC каптоо графит MOCVD пластина ташуучулары, графит сусцепторлору үчүнSiC эпитаксиясы,
Көмүртек сусцепторлорду камсыз кылат, Графит эпитакси сусцепторлору, Графит таяныч субстраттары, MOCVD Сусцептору, SiC эпитаксиясы, Вафли сусцепторлору,

SiC менен капталган графит сусцепторлорубуздун өзгөчө артыкчылыктарына өтө жогорку тазалык, бир тектүү каптоо жана эң сонун кызмат мөөнөтү кирет. Алар ошондой эле жогорку химиялык туруктуулук жана термикалык туруктуулук касиеттерине ээ.

Жарым өткөргүчтөр үчүн графит субстратынын SiC каптоосу жогорку тазалыкка жана кычкылдандыруучу атмосферага туруктуулукка ээ бөлүктү өндүрөт.
CVD SiC же CVI SiC жөнөкөй же татаал конструкциядагы тетиктердин графитине колдонулат. Каптоо ар кандай калыңдыкта жана өтө чоң тетиктерге колдонулушу мүмкүн.

SiC каптоо/капталган MOCVD Susceptor

Өзгөчөлүктөрү:
· Мыкты жылуулук шокко туруктуулук
· Мыкты физикалык соккуга туруктуулук
· Мыкты химиялык туруктуулук
· Өтө жогорку тазалык
· Татаал формадагы жеткиликтүүлүк
· Кычкылдануучу атмосферада колдонууга болот

Колдонмо:

Негизги графит материалынын типтүү касиеттери:

Көрүнгөн тыгыздык:	1,85 г/см3
Электрдик каршылыгы:	11 мкΩм
Ийилүүнүн чыңалуусу:	49 МПа (500 кгс/см2)
Жээк катуулугу:	58
Күл:	<5ppm
Жылуулук өткөрүмдүүлүгү:	116 Вт/мК (100 ккал/мсаат-℃)

Көмүртек сусцепторлорду камсыз кылатжана бардык учурдагы эпитакси реакторлору үчүн графит компоненттери. Биздин портфолиобузга колдонмо жана LPE блоктору үчүн баррель сусцепторлору, LPE, CSD жана Gemini блоктору үчүн куймак сусцепторлору жана колдонмо жана ASM блоктору үчүн бир пластиналуу сусцепторлор кирет. Алдыңкы OEM өндүрүүчүлөрү менен бекем өнөктөштүктү, материалдарды изилдөөнү жана өндүрүштүк ноу-хауну айкалыштыруу менен, SGL сиздин колдонмоңуз үчүн оптималдуу дизайнды сунуштайт.