Вафли иштетүү үчүн жогорку тазалыктагы кварц кайыгы

Кварц вафли кайыгыжарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө, фотоэлектрдик элементтерди өндүрүүдө жана алдыңкы материалдарды изилдөө жана иштеп чыгууда негизги алып жүрүүчү курал болуп саналат, жогорку температурадагы процесстерде пластиналарды туруктуу өткөрүп берүү жана жайгаштыруу үчүн иштелип чыккан. Бул продукт өтө жогорку тазалыктагы эритилген кремнийден (SiO2) жасалган, температурага эң сонун туруктуулукка, химиялык туруктуулукка жана өтө төмөн металл булгануу мүнөздөмөлөрүнө ээ, диффузиялык мешке, кычкылдануу мешине, PECVD/LPCVD жана башка жабдууларга ылайыктуу, пластиналарды каптоодо, иондук имплантацияда, жогорку температурада күйгүзүүдө жана башка өзөктүк процесстерде кеңири колдонулат.

VET Energy компаниясынын кварц кайыгынын негизги артыкчылыктары:

• Өтө жогорку тазалыктагы материал
  Тазалыгы ≥99.99%: Кошулмалардын курамы (Na, K, Fe ж.б.) <5ppm, пластинанын булганышына жол бербейт жана чиптердин чыгышын кепилдейт.
  Аз жаан-чачын жана адсорбция: бөлүкчөлөрдүн адгезиясын жана газ калдыктарын азайтуу үчүн бети өтө жылмаланган (Ra≤0.4μm).
• Жогорку температуранын туруктуулугу
  Температуранын чеги: узак мөөнөттүү иштөө температурасы 1100℃, кыска мөөнөттүү чоку 1300℃, деформация жок, кристаллдык жаан-чачын жок.
  Төмөн жылуулук кеңейүү коэффициенти (5.5x10-7/℃), жылуулук соккуларына мыкты туруктуулук, температуранын тез көтөрүлүшүнө жана төмөндөшүнө ыңгайлашат (мисалы, RTP тез күйгүзүү).
• Так структуралык долбоорлоо
  Оюктун тактыгы ± 0.1 мм: 2 дюймдан 12 дюймга чейинки пластиналарды дал келтирүү, аралыктын бирдейлик катасы <0.05 мм, пластиналардын жылышуусу жок экенин камсыз кылуу.
  Жогорку жүк көтөрүмдүүлүгү: бир кайыкка 50 пластинадан (12 дюймдук пластиналарга эсептегенде) максималдуу жүктөм, бул жука пластиналардын (≥100 мкм) туруктуу ташылышын камсыздайт.
• Химиялык инертүүлүк
  Коррозияга туруктуулук: кислотага (HFден тышкары), щелочко жана органикалык эриткичтин коррозиясына туруктуу, CMP тазалоо процессине шайкеш келет.
  Мыкты газ өткөрбөөчүлүк: Агып кетүү ылдамдыгы <5x10-10 Пам3/с, вакуумдук жана коргоочу газ чөйрөлөрүнө ылайыктуу.
• Узак мөөнөттүү жана тейлөөгө жөндөмдүүлүк
  Жашоо узактыгы ≥ 5000 цикл (нормалдуу иштөө шарттары), бетин кайра-кайра тазалап, колдонсо болот, бул жалпы чыгымды азайтат.
  Модулдук дизайн: жарым-жартылай алмаштырууну колдойт (мисалы, кайыктын бир тиштүү тиштүү бөлүгү), бул токтоп калуу убактысын азайтат.

Кардарлардын талаптарына ылайык биз тунук жана күңүрт беттерди сунуштайбыз:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd компаниясы жогорку класстагы өнүккөн материалдарды, анын ичинде графит, кремний карбиди, керамика, SiC каптоо, TaC каптоо, айнек көмүртек каптоо, пиролитикалык көмүртек каптоо ж.б. сыяктуу беттик иштетүүчү материалдарды жана технологияларды өндүрүүгө жана сатууга багытталган жогорку технологиялуу ишкана болуп саналат, бул продукциялар фотоэлектрдик, жарым өткөргүчтөр, жаңы энергетика, металлургия ж.б. тармактарда кеңири колдонулат.

Биздин техникалык команда алдыңкы ата мекендик изилдөө институттарынан келип, продукциянын иштешин жана сапатын камсыз кылуу үчүн бир нече патенттелген технологияларды иштеп чыгышкан, ошондой эле кардарларга кесипкөй материалдык чечимдерди сунуштай алышат.