SiC-coating aangebracht opGrafietsubstraat voor halfgeleidersSiliciumcarbidecoating,MOCVD-receptor,
Grafietsubstraat, Grafietsubstraat voor halfgeleiders, MOCVD-receptor, Siliciumcarbide coating,

De bijzondere voordelen van onze met SiC gecoate grafietsusceptoren zijn de extreem hoge zuiverheid, de homogene coating en de uitstekende levensduur. Ze beschikken bovendien over een hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteit.

SiC-coating vanGrafietsubstraatVoor halfgeleidertoepassingen produceert het een onderdeel met een superieure zuiverheid en weerstand tegen oxiderende atmosfeer.
CVD SiC of CVI SiC wordt aangebracht op grafiet van eenvoudige of complexe onderdelen. De coating kan in verschillende diktes worden aangebracht en is geschikt voor zeer grote onderdelen.

Functies:
• Uitstekende thermische schokbestendigheid
• Uitstekende fysieke schokbestendigheid
• Uitstekende chemische bestendigheid
• Superhoge zuiverheid
• Beschikbaar in complexe vormen
• Bruikbaar in een oxiderende atmosfeer

Typische eigenschappen van basisgrafietmateriaal:

Carbon levert susceptoren en grafietcomponenten voor alle huidige epitaxie-reactoren. Ons portfolio omvat tonvormige susceptoren voor toegepaste en LPE-eenheden, platte susceptoren voor LPE-, CSD- en Gemini-eenheden, en susceptoren voor afzonderlijke wafers voor toegepaste en ASM-eenheden. Door sterke partnerschappen met toonaangevende OEM's, materiaalkennis en productie-knowhow te combineren, biedt SGL het optimale ontwerp voor uw toepassing.

Meer producten