SiC 코팅반도체용 흑연 기판탄화규소 코팅MOCVD 서셉터,
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당사의 SiC 코팅 흑연 서셉터는 매우 높은 순도, 균일한 코팅 및 탁월한 수명을 비롯한 여러 가지 특별한 장점을 제공합니다. 또한 높은 내화학성 및 열 안정성을 자랑합니다.
SiC 코팅흑연 기판반도체 응용 분야에서 탁월한 순도와 산화 환경에 대한 내성을 지닌 부품을 생산합니다.
CVD SiC 또는 CVI SiC 코팅은 단순하거나 복잡한 디자인의 부품에 사용되는 흑연 표면에 적용됩니다. 코팅 두께는 다양하게 적용할 수 있으며 매우 큰 부품에도 적용 가능합니다.
특징:
• 뛰어난 열충격 저항성
• 뛰어난 물리적 충격 저항성
• 뛰어난 내화학성
• 초고순도
• 복잡한 형태로 제공 가능
산화성 분위기에서 사용 가능
흑연 기본 소재의 일반적인 특성:
| 겉보기 밀도: | 1.85 g/cm3 |
| 전기 저항률: | 11 μΩm |
| 굽힘 강도: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
| 쇼어 경도: | 58 |
| 금연 건강 증진 협회: | <5ppm |
| 열전도율: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
Carbon은 현재 모든 에피택시 반응기에 사용되는 서셉터 및 흑연 부품을 공급합니다. 당사의 포트폴리오에는 응용형 및 LPE 장치용 배럴 서셉터, LPE, CSD 및 Gemini 장치용 팬케이크 서셉터, 그리고 응용형 및 ASM 장치용 단일 웨이퍼 서셉터가 포함됩니다. SGL은 선도적인 OEM과의 강력한 파트너십, 소재 전문 지식 및 제조 노하우를 결합하여 고객의 응용 분야에 최적의 설계를 제공합니다.
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