Recubrimiento de SiC sobre sustrato de grafito para semiconductores, recubrimiento de carburo de silicio, susceptor MOCVD

Breve descripción:

El recubrimiento de SiC sobre sustrato de grafito para aplicaciones de semiconductores produce una pieza con pureza superior y resistencia a atmósferas oxidantes. El SiC mediante CVD o CVI se aplica al grafito en piezas de diseño simple o complejo. El recubrimiento se puede aplicar en diferentes espesores y a piezas de gran tamaño.


  • Lugar de origen:Zhejiang, China (continental)
  • Número de modelo:Número de modelo:
  • Composición química:Grafito recubierto de SiC
  • Resistencia a la flexión:470 MPa
  • Conductividad térmica:300 W/mK
  • Calidad:Perfecto
  • Función:SiC CVD
  • Solicitud:Semiconductores / Fotovoltaicos
  • Densidad:3,21 g/cm³
  • Expansión térmica:4 10-6/K
  • Ceniza: <5 ppm
  • Muestra:Disponible
  • Código HS:6903100000
  • Detalles del producto

    Etiquetas de producto

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    Descripción del Producto

    Entre las ventajas especiales de nuestros susceptores de grafito recubiertos de SiC se incluyen una pureza extremadamente alta, un recubrimiento homogéneo y una excelente vida útil. Además, poseen una alta resistencia química y una gran estabilidad térmica.

    Recubrimiento de SiC deSustrato de grafitoPara aplicaciones en semiconductores, produce una pieza con una pureza superior y resistencia a atmósferas oxidantes.
    El recubrimiento de SiC mediante CVD o CVI se aplica al grafito en piezas de diseño simple o complejo. El recubrimiento se puede aplicar en diferentes espesores y a piezas de gran tamaño.

    Susceptor MOCVD recubierto con SiC

    Características:
    • Excelente resistencia al choque térmico
    • Excelente resistencia a los golpes físicos
    • Excelente resistencia química
    · Pureza súper alta
    • Disponibilidad en formas complejas
    • Utilizable en atmósfera oxidante

     

    Propiedades típicas del material base de grafito:

    Densidad aparente: 1,85 g/cm³
    Resistividad eléctrica: 11 μΩm
    Resistencia a la flexión: 49 MPa (500 kgf/cm2)
    Dureza Shore: 58
    Ceniza: <5 ppm
    Conductividad térmica: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

    Carbon suministra susceptores y componentes de grafito para todos los reactores de epitaxia actuales. Nuestro catálogo incluye susceptores cilíndricos para unidades de epitaxia aplicada y LPE, susceptores planos para unidades LPE, CSD y Gemini, y susceptores de oblea única para unidades de epitaxia aplicada y ASM. Gracias a la combinación de sólidas alianzas con fabricantes de equipos originales líderes, experiencia en materiales y conocimientos de fabricación, SGL ofrece el diseño óptimo para su aplicación.

    Susceptor MOCVD recubierto con SiCSusceptor MOCVD recubierto con SiC

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    Susceptor MOCVD recubierto con SiC

    Información de la empresa

    111

    Equipos de fábrica

    222

    Depósito

    333

    Certificaciones

    Certificaciones22

    preguntas frecuentes

     


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