Rivestimento in SiC rivestito diSubstrato di grafite per semiconduttoriRivestimento in carburo di silicio,Suscettore MOCVD,
substrato di grafite, Substrato di grafite per semiconduttori, Suscettore MOCVD, Rivestimento in carburo di silicio,
I vantaggi specifici dei nostri suscettori in grafite rivestiti in SiC includono l'elevatissima purezza, il rivestimento omogeneo e un'eccellente durata. Offrono inoltre un'elevata resistenza chimica e stabilità termica.
Rivestimento in SiC disubstrato di grafiteper applicazioni nel settore dei semiconduttori produce un componente con purezza superiore e resistenza all'atmosfera ossidante.
Il rivestimento CVD SiC o CVI SiC viene applicato alla grafite di componenti dal design semplice o complesso. Il rivestimento può essere applicato in spessori variabili e su componenti di grandi dimensioni.

Caratteristiche:
· Eccellente resistenza agli shock termici
· Eccellente resistenza fisica agli urti
· Eccellente resistenza chimica
· Super elevata purezza
· Disponibilità in forma complessa
· Utilizzabile in atmosfera ossidante
Proprietà tipiche del materiale di base in grafite:
| Densità apparente: | 1,85 g/cm3 |
| Resistività elettrica: | 11 μΩm |
| Resistenza alla flessione: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
| Durezza Shore: | 58 |
| Cenere: | <5 ppm |
| Conduttività termica: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
Carbon fornisce suscettori e componenti in grafite per tutti gli attuali reattori epitassiferi. Il nostro portfolio include suscettori a barile per unità applicate e LPE, suscettori a pancake per unità LPE, CSD e Gemini e suscettori a wafer singolo per unità applicate e ASM. Combinando solide partnership con i principali OEM, competenza nei materiali e know-how produttivo, SGL offre la soluzione ottimale per la vostra applicazione.




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