SiC कोटिंग से लेपितसेमीकंडक्टर के लिए ग्रेफाइट सब्सट्रेटसिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगएमओसीवीडी ससेप्टर,
ग्रेफाइट सब्सट्रेट, सेमीकंडक्टर के लिए ग्रेफाइट सब्सट्रेट, एमओसीवीडी ससेप्टर, सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग,
हमारे SiC-लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर्स के विशेष लाभों में अत्यधिक शुद्धता, समरूप कोटिंग और उत्कृष्ट सेवा जीवन शामिल हैं। इनमें उच्च रासायनिक प्रतिरोध और ऊष्मीय स्थिरता के गुण भी मौजूद हैं।
SiC कोटिंगग्रेफाइट सब्सट्रेटसेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों के लिए, यह एक ऐसा भाग तैयार करता है जिसमें उच्च शुद्धता और ऑक्सीकरण वातावरण के प्रति प्रतिरोधकता होती है।
सरल या जटिल डिज़ाइन वाले ग्रेफाइट पुर्जों पर CVD SiC या CVI SiC कोटिंग की जाती है। कोटिंग को अलग-अलग मोटाई में और बहुत बड़े पुर्जों पर भी लगाया जा सकता है।

विशेषताएँ:
• उत्कृष्ट तापीय आघात प्रतिरोध
• उत्कृष्ट भौतिक आघात प्रतिरोधक क्षमता
• उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध
· अत्यधिक शुद्धता
• जटिल आकृतियों में उपलब्धता
· ऑक्सीकरण वातावरण में उपयोग योग्य
आधार ग्रेफाइट सामग्री के विशिष्ट गुण:
| स्पष्ट घनत्व: | 1.85 ग्राम/सेमी³ |
| विद्युत प्रतिरोधकता: | 11 माइक्रोमीटर |
| फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ: | 49 एमपीए (500 किलोग्राम फुट/सेमी²) |
| किनारों का कड़ापन: | 58 |
| राख: | <5 पीपीएम |
| ऊष्मीय चालकता: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
कार्बन सभी मौजूदा एपिटैक्सी रिएक्टरों के लिए ससेप्टर और ग्रेफाइट घटक प्रदान करता है। हमारे पोर्टफोलियो में एप्लाइड और एलपीई इकाइयों के लिए बैरल ससेप्टर, एलपीई, सीएसडी और जेमिनी इकाइयों के लिए पैनकेक ससेप्टर और एप्लाइड और एएसएम इकाइयों के लिए सिंगल-वेफर ससेप्टर शामिल हैं। प्रमुख ओईएम के साथ मजबूत साझेदारी, सामग्री विशेषज्ञता और विनिर्माण जानकारी के संयोजन से, एसजीएल आपके अनुप्रयोग के लिए सर्वोत्तम डिज़ाइन प्रदान करता है।




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