sekoahelo sa SiC se koahetsoeng kaKarolo ea graphite bakeng sa Semiconductor,Seaparo sa silicon carbide,Mohlahisi oa MOCVD,
Karolo ea graphite, Karolo ea graphite bakeng sa Semiconductor, Mohlahisi oa MOCVD, Sekoahelo sa Silicon Carbide,

Melemo e ikhethang ea li-susceptor tsa rona tsa graphite tse koahetsoeng ke SiC e kenyelletsa bohloeki bo phahameng haholo, ho koahela ka ho tšoana le bophelo bo botle ba ts'ebeletso. Li boetse li na le khanyetso e phahameng ea lik'hemik'hale le litšobotsi tsa botsitso ba mocheso.

Sekoahelo sa SiC saKarolo ea graphitebakeng sa lits'ebetso tsa Semiconductor e hlahisa karolo e nang le bohloeki bo phahameng le ho hanyetsa sepakapaka se oxidizing.
CVD SiC kapa CVI SiC e sebelisoa ho Graphite ea likarolo tse bonolo kapa tse rarahaneng tsa moralo. Sekoahelo se ka sebelisoa ka botenya bo fapaneng le likarolong tse kholo haholo.

Likaroloana:
· Khanyetso e Hlollang ea Thermal Shock
· Khanyetso e Hlollang ea 'Mele ea ho Tšoaroa ke Tšabo
· Khanyetso e Hlollang ea Lik'hemik'hale
· Bohloeki bo Phahameng ka ho Fetisisa
· Ho fumaneha ka Sebopeho se Rarahaneng
· E ka sebelisoa tlas'a Oxidizing Atmosphere

Matlotlo a Tloaelehileng a Thepa ea Motheo ea Graphite:

Khabone e fana ka di-susceptor le dikarolo tsa graphite bakeng sa di-reactor tsohle tsa hona jwale tsa epitaxy. Potefolio ya rona e kenyeletsa di-susceptor tsa dibarele bakeng sa diyuniti tse sebediswang le tsa LPE, di-susceptor tsa dipanekuku bakeng sa diyuniti tsa LPE, CSD, le Gemini, le di-susceptor tsa wafer tse le nngwe bakeng sa diyuniti tse sebediswang le tsa ASM. Ka ho kopanya dikamano tse matla le di-OEM tse etellang pele, boiphihlelo ba thepa le tsebo ya tlhahiso, SGL e fana ka moralo o motle bakeng sa kopo ya hao.

Lihlahisoa tse ling