VET Energys epitaksiale wafer av silisiumkarbid (SiC) er et høytytende halvledermateriale med bredt båndgap, utmerket høytemperaturmotstand, høyfrekvens- og høyeffektegenskaper. Det er et ideelt substrat for den nye generasjonen kraftelektroniske enheter. VET Energy bruker avansert MOCVD-epitaksialteknologi for å dyrke epitaksiale lag av høy kvalitet i SiC på SiC-substrater, noe som sikrer waferens utmerkede ytelse og konsistens.
Vår epitaksiale silisiumkarbid (SiC)-wafer tilbyr utmerket kompatibilitet med en rekke halvledermaterialer, inkludert Si-wafer, SiC-substrat, SOI-wafer og SiN-substrat. Med sitt robuste epitaksiale lag støtter den avanserte prosesser som epiwafervekst og integrering med materialer som galliumoksid Ga2O3 og AlN-wafer, noe som sikrer allsidig bruk på tvers av ulike teknologier. Den er designet for å være kompatibel med industristandard kassetthåndteringssystemer, og sikrer effektiv og strømlinjeformet drift i halvlederfabrikasjonsmiljøer.
VET Energys produktlinje er ikke begrenset til epitaksiale SiC-wafere. Vi tilbyr også et bredt spekter av halvledersubstratmaterialer, inkludert Si-wafer, SiC-substrat, SOI-wafer, SiN-substrat, Epi-wafer, osv. I tillegg utvikler vi aktivt nye halvledermaterialer med bredt båndgap, som galliumoksid Ga2O3 og AlN-wafer, for å møte fremtidens kraftelektronikkindustris behov for enheter med høyere ytelse.
SPESIFIKASJONER FOR VAFFERING
*n-Pm=n-type Pm-kvalitet, n-Ps=n-type Ps-kvalitet, Sl=Halvisolerende
| Punkt | 8-tommers | 6-tommers | 4-tommers | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| Bue(GF3YFCD) – Absolutt verdi | ≤15 μm | ≤15 μm | ≤25 μm | ≤15 μm | |
| Varp (GF3YFER) | ≤25 μm | ≤25 μm | ≤40 μm | ≤25 μm | |
| LTV (SBIR) - 10 mm x 10 mm | <2 μm | ||||
| Waferkant | Avfasing | ||||
OVERFLATEFINISH
*n-Pm=n-type Pm-kvalitet, n-Ps=n-type Ps-kvalitet, Sl=Halvisolerende
| Punkt | 8-tommers | 6-tommers | 4-tommers | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| Overflatebehandling | Dobbeltsidig optisk polering, Si-Face CMP | ||||
| Overflateruhet | (10µm x 10µm) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
| Kantbrikker | Ingen tillatt (lengde og bredde ≥0,5 mm) | ||||
| Innrykk | Ingen tillatt | ||||
| Riper (Si-Face) | Antall ≤5, Kumulativ | Antall ≤5, Kumulativ | Antall ≤5, Kumulativ | ||
| Sprekker | Ingen tillatt | ||||
| Kantekskludering | 3 mm | ||||





