Графитовое кольцо с покрытием TaC

VET Energy фокусируется на НИОКР и производстве высокопроизводительных графитовых колец с покрытием из карбида тантала (TaC) методом CVD и стремится предоставлять решения в области основных расходных материалов для полупроводниковой, фотоэлектрической и высокотемпературной промышленности. Наша независимо разработанная технология химического осаждения из паровой фазы (CVD) формирует плотное и однородное покрытие из карбида тантала на поверхности графитовой подложки с помощью прецизионных процессов, значительно улучшая высокотемпературную стойкость продукта (>3000℃), коррозионную стойкость и стойкость к тепловому удару, продлевая срок службы более чем в 3 раза и сокращая комплексные расходы клиентов.

Наши технические преимущества:
1. Стойкость к окислению при высоких температурах
В воздушной среде с температурой 1200 ℃ скорость набора веса при окислении составляет ≤0,05 мг/см²/ч, что более чем в 3 раза превышает срок службы обычного графита при окислении и подходит для условий высокочастотного цикла нагрева-охлаждения.
2. Устойчивость к коррозии расплавленного кремния/металла
Покрытие TaC чрезвычайно инертно к таким металлам, как жидкий кремний (1600 ℃), расплавленный алюминий/медь и т. д., что позволяет избежать структурного разрушения традиционных направляющих колец из-за проникновения металла, что особенно подходит для силовых полупроводников и производства полупроводников третьего поколения.
3. Сверхнизкое загрязнение частицами
Процесс CVD обеспечивает плотность покрытия >99,5% и шероховатость поверхности Ra≤0,2 мкм, что снижает риск отделения частиц от источника и соответствует строгим требованиям к чистоте при производстве 12-дюймовых пластин.
4. Точный контроль размера
Благодаря использованию прецизионной обработки на станке с ЧПУ допуск размера графитовой подложки составляет ±0,01 мм, а общая деформация после нанесения покрытия составляет <±5 мкм, что подходит для установки в камерах высокоточного оборудования.