Fa'apitoa SiC Coated Barrel Susceptor

Pa'u susceptoro se vaega autu i semiconductor epitaxial tuputupu aʻe faagasologa e pei ole MOCVD, MBE, CVD. E masani lava ona faʻaaogaina e ave ai faʻamaʻi i totonu o potu faʻafefe maualuga ma tuʻuina atu se toniga ma faʻamautu le siosiomaga faʻamafanafana e faʻamautinoa ai le tuʻuina saʻo o le epitaxial layers (e pei o GaN, SiC, ma isi). O lana galuega autu o le ausia lea o le tutusa maualuga o le vevela o le eleele e ala i le pulea lelei o le fanua vevela, ma faʻamautinoa ai le mafiafia, faʻaogaina o le doping, ma le tutusa o le fausaga tioata o ata manifinifi epitaxial.

Matou te fa'aogaina a matou tekonolosi pateni e fai ai lepa'u susceptorfaʻatasi ai ma le maualuga maualuga o le mama, faʻapipiʻi lelei le faʻapipiʻiina ma se olaga sili ona lelei, faʻapea foʻi ma le maualuga o vailaʻau faʻamaʻi ma mea faʻamautu vevela.

VET Energy fa'aaoga le kalafi maualuga mama ma le CVD-SiC coating e fa'aleleia ai le mautu o vaila'au:

1. Mea graphite mama maualuga
O le maualuga o le vevela: o le faʻafefe o le graphite e tolu taimi o le silicon, lea e mafai ona vave faʻafeiloaʻi le vevela mai le mea faʻavevela i le wafer ma faʻapuupuu le taimi faʻamafanafana.
Malosiaga faʻainisinia: Isostatic pressure graphite density ≥ 1.85 g / cm ³, mafai ona faʻasaga i le maualuga o le vevela i luga ole 1200 ℃ e aunoa ma se faʻaleagaina.

2. CVD SiC ufiufi
O le β - SiC layer ua faia i luga o le graphite e ala ile vailaʻau vaʻaia (CVD), faʻatasi ai ma le mama o ≥ 99.99995%, o le mea sese tutusa o le mafiafia o le ufiufi e itiiti ifo i le ± 5%, ma o le roughness luga e itiiti ifo i le Ra0.5um.

3. Fa'aleleia galuega:
Tete'e fa'afefe: e mafai ona tatalia kasa maualuga e pei o le Cl2, HCl, ma isi, e mafai ona fa'alautele le ola ole GaN epitaxy ile tolu taimi ile siosiomaga NH3.
Fa'amautu fa'avela: O le aofa'i o le fa'alauteleina o le vevela (4.5 × 10-6/℃) e fetaui ma le kalafi e 'alofia ai le ta'e o le fa'afuifu e mafua mai i fesuiaiga o le vevela.
Malosi ma La'ei Fa'asagatau: O le Vickers ma'a'a e o'o atu i le 28 GPa, lea e 10 taimi e maualuga atu ai nai lo le kalafi ma e mafai ona fa'aitiitia ai le fa'aletonu o le masaesae.