Susceptor Paolo Ufiufi SiC Fa'apitoa

Fa'asusu o le paeloo se vaega autū i faiga fa'atupula'ia epitaxial semiconductor e pei o le MOCVD, MBE, CVD. E masani ona fa'aaogaina e ave ai wafers i totonu o potu tali atu i le vevela maualuga ma maua ai se siosiomaga fa'avevela tutusa ma mautu e fa'amautinoa ai le sa'o o le fa'aputuina o vaega epitaxial (e pei o le GaN, SiC, ma isi). O lona galuega autū o le ausia lea o le tutusa maualuga o le vevela o luga o le wafer e ala i le puleaina sa'o o le fa'avevela, ma fa'amautinoa ai le mafiafia, le fa'aputuina o le doping, ma le tutusa o le fausaga o le tioata o ata manifinifi epitaxial.

Matou te faʻaaogaina a matou tekinolosi ua pateniina e fai ai lemea e fa'aoso ai le paelofaatasi ai ma le mama maualuga tele, tutusa lelei o le ufiufi ma se olaga tautua sili ona lelei, faapea foi ma le tete'e maualuga i vailaau ma le mautu i le vevela.

E fa'aaogā e le VET Energy le graphite mama maualuga ma le ufiufi CVD-SiC e fa'aleleia atili ai le mautu o vaila'au:

1. Mea fa'akalafi mama maualuga
Maualuga le fa'avevela: o le fa'avevela o le graphite e fa'atolu le silicon, lea e mafai ona vave fa'aliliuina le vevela mai le puna fa'avevela i le wafer ma fa'apu'upu'u le taimi fa'avevela.
Malosi fa'amekanika: Isostatic pressure graphite density ≥ 1.85 g/cm³, e mafai ona tatalia le vevela maualuga e sili atu i le 1200 ℃ e aunoa ma le fa'aleagaina.

2. Ufiufi CVD SiC
O se vaega β-SiC e fausia i luga o le fogāeleele o le graphite e ala i le fa'aputuga o le ausa vaila'au (CVD), fa'atasi ai ma le mama o le ≥ 99.99995%, o le sese tutusa o le mafiafia o le ufiufi e itiiti ifo i le ±5%, ma o le ma'a'a o le fogāeleele e itiiti ifo i le Ra0.5um.

3. Faaleleia atili o le faatinoga:
Tete'e i le 'ele: e mafai ona tatalia kasa 'ele maualuga e pei o le Cl2, HCl, ma isi, e mafai ona fa'alauteleina le umi o le GaN epitaxy i le fa'atolu i le siosiomaga NH3.
Mausali o le vevela: O le fua fa'atatau o le fa'alauteleina o le vevela (4.5 × 10-6/℃) e fetaui ma le karapite e 'alofia ai le māvaevae o le ufiufi e mafua mai i le fesuisuia'i o le vevela.
Ma'a'a ma le Tete'e atu i le Ofu: O le ma'a'a o Vickers e o'o atu i le 28 GPa, lea e 10 taimi e maualuga atu nai lo le karapite ma e mafai ona fa'aitiitia ai le lamatiaga o maosi o le wafer.