A o faʻagasolo le gaosiga o semiconductor agai i ni mamanu laiti o masini, maualuga atu le gaosiga o le wafer, ma faʻateleina tulaga faʻatonuina o le puleaina o mea leaga, o loʻo feagai masini faʻagasolo vevela ma luʻitau faʻainisinia e leʻi mafaufauina. O faiga e pei o le LPCVD, faʻamaʻi faʻavevela, faʻasalalauina o le dopant, ma le faʻamafanafanaina i le vevela maualuga ua le gata ina manaʻomia ai le tutusa lelei o le vevela, ae faʻapea foʻi ma le umi o le taimi e faʻaaoga ai masini, maualalo le gaosiga o vaega, ma faʻaleleia atili le toe faia o le faiga.
E ui e masani ona le amana'iaina pe a fa'atusatusa i kesi fa'agasolo, paipa ogaumu, po'o vaila'au fa'aputu, o le cantilever paddle e fa'atatau tonu lava i le auala e amio ai wafers i totonu o siosiomaga vevela maualuga. I le tele o fabs fa'aonaponei, e le o toe manatu o se vaega faigofie e mafai ona fa'aaogaina, ae o se mea autu e mafai ai ona fa'agasolo lelei ma toe fai le semiconductor.
O le ā le SiC Cantilever Paddle?
O le SiC Cantilever Paddle o se vaega fa'atulagaina o le silicon carbide e maualuga le mama e fa'aaogaina tele i totonu o ogaumu fa'asalalau semiconductor ma faiga LPCVD. E masani ona mamanuina o se fausaga umi o le cantilever beam e mafai ona lagolagoina va'a quartz po'o SiC wafer i le taimi o le fa'agasologaina i le vevela maualuga.
E masani ona gaosia le vaega e ala i le faʻaaogaina o:
● silicon carbide ua toe fa'amatagofieina (RSiC)
● silicon carbide ua teuina i le ausa vailaʻau (CVD SiC)
● mea SiC e pipii mautu i le tali atu
E tusa ai ma faʻamaumauga o meafaitino na lomia e CoorsTek ma Saint-Gobain Performance Ceramics, o meafaitino SiC mama maualuga e masani ona faʻaalia:
● Fa'avevela o le eletise: pe tusa o le 120–200 W/m·K i le vevela o le potu
● Vevela aupito maualuga o le fa'agaoioiga i le ea e le gaoioi: e sili atu i le 1600°C.
● Fa'atusatusaga o le fa'alauteleina o le vevela (CTE): pe tusa o le 4.0–4.5×10⁻⁶/K.
● Tete'e lelei tele i le HCl, NH₃, O₂, ma le fa'agasologa o le kemisi e fa'a-chlorinate.
O le Matafaioi a le SiC Cantilever Paddle i le Fa'agasologa o le LPCVD
I totonu o faʻaoga uma, o faiga LPCVD o se tasi lea o faʻaoga sili ona taua mo SiC Cantilever Paddles.
Faiga e pei o:
● fa'aputuga o le polysilicon.
● silicon nitride (Si₃N₄).
● fa'aputuga o le oxide maualalo le mamafa.
E masani ona fa'agaoioia i le va o le 500°C ma le 900°C, e masani lava i lalo o taamilosaga uumi o fa'agasologa ma siosiomaga fa'akemikolo e vave ona tali atu.
I totonu o nei faiga, e faatino ai e le cantilever paddle ni galuega taua se tele i le taimi e tasi.
Muamua, e maua ai le felauaiga fa'amekanika mautu mo va'a wafer e ulufale ma alu ese mai le paipa ogaumu. Talu ai ona e mafai e ogaumu fa'aonaponei ona feavea'i le faitau selau o wafer i le vaega ta'itasi, e o'o lava i le fa'aletonu itiiti o le foe e mafai ona o'o atu ai i le le sa'o o le wafer, le le mautu o le va, po'o le fa'aputuina o le mamafa fa'amekanika.
Lua, e taua tele le sao o le foe i le tutusa o le vevela. O le maualuga o le fa'avevela o le SiC e mafai ai ona tufatufa tutusa le vevela i luga o le fausaga lagolago, ma fa'aitiitia ai le fesuia'iga o le vevela i le lotoifale lea e ono a'afia ai le tutusa o le fa'aputuina.
Tolu, e taua tele le itiiti o le gaosiga o ni vaega. O vaega o le semiconductor o ni mea e fa'aitiitia ai le fua o le eletise, aemaise lava i le gaosiga o semiconductor fa'atekonolosi ma le eletise. Ona o lona fausaga mafiafia o le seramika ma le tete'e malosi i le 'ele, o le SiC mama maualuga e fa'aitiitia ai le lamatiaga o le fa'aleagaina o vaega pe a fa'atusatusa i mea masani.
I laina gaosiga fa'aonaponei o le LPCVD, o le mautu o le fua i le umi o le foe e a'afia sa'o ai:
● tutusa le mafiafia o le ata tifaga.
● toe fai o le vafer i le wafer.
● taimi e fa'agaoioi ai le ogaumu.
O le Ningbo VET Energy e fa'apitoa i le gaosiga o le graphite, silicon carbide ceramics, ma vaega semiconductor ua ufi i le CVD ua mamanuina mo siosiomaga faigata o gaosiga o semiconductor.
O oloa autu o semiconductor e aofia ai:
● Fa'asolo SiC Cantilever
● SiC Coated Graphite Susceptor
● Avetaavale Wafer Ufiufi SiC
● Vaega o le Halfmoon ua Ufiufi i le SiC
● Ogāumu Fa'apipi'i Carbon-Carbon
● Ie Felt Kalafite Malū ma Ie Felt Kalafite Malō
O nei oloa e faʻaaogaina lautele i:
● Faiga epitaxy
● O masini fa'atino LPCVD
● Ogaumu fa'asalalau
● Faiga tuputupu a'e o le tioata SiC
● Meafaigaluega e fa'agaoioia ai le vevela maualuga.
Faatasi ai ma le vave tuputupu aʻe o le SiC ma le gaosiga o semiconductor eletise faʻaonaponei, o le a faʻaauau pea ona faʻateleina le manaʻoga mo vaega o le ogaumu e maualuga le mama ma le mautu. I lenei tulaga, o le tekinolosi SiC Cantilever Paddle o le a tumau pea o se tasi o elemene faavae e lagolagoina ai le faʻagasologa o semiconductor o le isi tupulaga.
Taimi na lafoina ai: 14 Me 2026