Barrel susceptorMOCVD, MBE, CVD ýaly ýarymgeçiriji epitaksial ösüş proseslerinde esasy bölek bolup durýar. Ol esasan ýokary temperaturaly reaksiýa kameralarynda waferleri daşamak we epitaksial gatlaklaryň (meselem, GaN, SiC we ş.m.) takyk çökündisini üpjün etmek üçin birmeňzeş we durnukly termal meýdan gurşawyny üpjün etmek üçin ulanylýar. Onuň esasy wezipesi takyk termal meýdan gözegçiligi arkaly wafer ýüzüniň temperaturasynyň ýokary birmeňzeşligine ýetmek, şeýlelik bilen epitaksial inçe plýonkalaryň galyňlygyny, lehim konsentrasiýasyny we kristal gurluşynyň birmeňzeşligini üpjün etmekdir.
Biz patentlenen tehnologiýamyzy ulanyp, şuny ýasaýarysbarrel susceptorörän ýokary arassalyk, gowy örtük deňligi we ajaýyp hyzmat möhleti, şeýle hem ýokary himiki garşylyk we termal durnuklylyk häsiýetleri bilen.
“VET Energy” himiki durnuklylygy ýokarlandyrmak üçin CVD-SiC örtügi bilen ýokary arassa grafiti ulanýar:
1. Ýokary arassa grafit materialy
Ýokary ýylylyk geçirijiligi: grafidiň ýylylyk geçirijiligi kremniýiňkiden üç esse ýokary, bu bolsa ýylylygy gyzdyryjy çeşmeden plastinka çalt geçirip, gyzdyrma wagtyny gysgaldyp bilýär.
Mehaniki berkligi: Izostatik basyşly grafit dykyzlygy ≥ 1.85 g/sm³, 1200 ℃-den ýokary ýokary temperatura deformasiýasyz çydap bilýär.
2. CVD SiC örtügi
Grafitiň ýüzünde himiki bug çökündisi (CVD) arkaly β-SiC gatlagy emele gelýär, arassalygy ≥ 99.99995%, örtügiň galyňlygynyň deňlik ýalňyşlygy ± 5% -den az, ýüzüniň büdür-südürligi bolsa Ra0.5um-den az.
3. Işiň netijeliligini ýokarlandyrmak:
Korroziýa garşylygy: Cl2, HCl we ş.m. ýaly ýokary korroziýa gazlaryna çydap bilýär, NH3 gurşawynda GaN epitaksiýasynyň ömrüni üç esse uzaldyp bilýär.
Termal durnuklylyk: Termal giňelme koeffisiýenti (4.5 × 10-6/℃) temperatura üýtgemeleri sebäpli örtük çatlamasynyň öňüni almak üçin grafite deňleşýär.
Gatylyk we aşynma garşylygy: Wickers gatylygy 28 GPa-a ýetýär, bu bolsa grafitden 10 esse ýokary we wafer çyzyklarynyň töwekgelçiligini azaldyp biler.
| Ýürek-damar keselleri SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-niň esasy fiziki häsiýetleriörtük | |
| 性质 / Emläk | 典型数值 / Adaty gymmatlyk |
| 晶体结构 / Kristal gurluşy | FCC β fazasy多晶，主要为（111 ）取向 |
| 密度 / Dykyzlyk | 3.21 g/sm³ |
| 硬度 / Gatylyk | 2500 维氏硬度（ 500g ýük） |
| 晶粒大小 / Däne SiZe | 2~10μm |
| 纯度 / Himiki arassalyk | 99.99995% |
| 热容 / Ýylylyk kuwwaty | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimasiýa temperaturasy | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Bükülme güýji | 415 MPa RT 4-nokat |
| 杨氏模量 / Ýaşyň moduly | 430 Gpa 4pt bükülme, 1300℃ |
| 导热系数 / TermalGeçirijilik | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termal giňelme (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
“Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd” kompaniýasy ýokary derejeli öňdebaryjy materiallaryň, şol sanda grafit, kremniý karbidi, keramika, SiC örtügi, TaC örtügi, aýna ýaly uglerod örtügi, pirolitik uglerod örtügi ýaly ýüzleý işlemeleriň we tehnologiýalaryň işlenip düzülmegine we öndürilmegine gönükdirilen ýokary tehnologiýaly kärhana bolup, bu önümler fotowoltaik, ýarymgeçiriji, täze energiýa, metallurgiýa we ş.m. pudaklarda giňden ulanylýar.
Biziň tehniki toparymyz ýerli öňdebaryjy ylmy-barlag edaralaryndan gelip çykýar we önümiň netijeliligini we hilini üpjün etmek üçin köp sanly patentlenen tehnologiýalary işläp düzdi, şeýle hem müşderilere professional material çözgütlerini hödürläp biler.
