VET Energy ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን ምርቶች በማምረት ላይ ልዩ ባለሙያተኛ ነውከፍተኛ ንፅህና ያለው ኢሶስታቲክ ግራፋይት ክሩሲብልለከፍተኛ ሴሚኮንዳክተር እና ለላቁ ቁሳቁሶች አፕሊኬሽኖች የተነደፈ። ከእጅግ በጣም ጥሩ እህል ኢሶስታቲክ ግራፋይት የተሰራ እና በከፍተኛ ሙቀት ባለው ሃሎጅን የማጥራት ሂደቶች የተጣራ የግራፋይት ክሩብልዎቻችን እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት፣ ዝቅተኛ የንጽህና ደረጃዎች እና እጅግ በጣም ከባድ በሆኑ የአሠራር ሁኔታዎች ውስጥ እጅግ በጣም ጥሩ የሆነ የመጠን ወጥነት ይሰጣሉ።
በ SiC ክሪስታል እድገት፣ በ GaN ክሪስታል ምርት፣ በኤፒታክሲያል ቁሳቁስ ማምረቻ እና በተራቀቀ የሴራሚክ ሲንቴሪንግ፣ ከፍተኛ ንፅህና በስፋት ጥቅም ላይ ይውላልኢሶስታቲክ ግራፋይት ክሩሲብልበዘመናዊው ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የክሪስታል ጥራት፣ የሂደት መረጋጋት እና የምርት ቅልጥፍናን በማረጋገጥ ረገድ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ።
ከፍተኛ ንፁህ ኢሶስታቲክ ግራፋይት ክሩሲብል ምንድን ነው?
ከፍተኛ ንፁህ ኢሶስታቲክ ግራፋይት ክሩሲብል በኢሶስታቲክ ፕሬሲንግ ሂደት አማካኝነት ከተፈጠሩ ኢሶትሮፒክ ግራፋይት ቁሳቁሶች የተሰራ ትክክለኛ ኢንጂነሪንግ ያለው ኮንቴይነር ነው። ከተለምዷዊ የተቀረጹ የግራፋይት ምርቶች ጋር ሲነጻጸር፣ ኢሶስታቲክ ግራፋይት የሚከተሉትን ያቀርባል፡
● በሁሉም አቅጣጫዎች ወጥ የሆነ ማይክሮስትራክቸር
● ከፍተኛ ጥግግት እና ሜካኒካል ጥንካሬ
● የላቀ የሙቀት ማስተላለፊያ
● እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም
● ዝቅተኛ ቀዳዳ
● እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሆነ የቆሻሻ ይዘት
ከተጣራ በኋላ የአመድ ይዘት በተለምዶ ከ 5 ppm በታች ቁጥጥር ሊደረግበት ይችላል፣ አንዳንድ የሴሚኮንዳክተር ደረጃ ያላቸው ቁሳቁሶች ከ 3 ppm በታች የንጽህና ደረጃን ያገኛሉ።
እነዚህ ባህሪያት ከፍተኛ ንፁህነት ያለው ኢሶስታቲክ ግራፋይት ክሩሲብልስ ከ2,000°ሴ በላይ ለሚሆኑ ከፍተኛ የሙቀት ሂደቶች ተስማሚ ያደርጉታል፣ የብክለት ቁጥጥር እና የሙቀት ተመሳሳይነት አስፈላጊ ናቸው።
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ያሉ ሚናዎች
በሲሊኮን ካርባይድ (SiC) ክሪስታል እድገት ውስጥ ፊዚካል ትነት ትራንስፖርት (PVT) ሂደትን በመጠቀም፣ የግራፋይት ክሩቢሎች እንደ ምንጭ ቁሳቁስ መያዣ ዕቃ እና የሙቀት መስክ ስርዓት ዋና አካል ሆነው ያገለግላሉ። በተለምዶ ከ2,200°ሴ በላይ በሆነ የሙቀት መጠን የሚሰራው ክሩቢሉ የእንፋሎት ትራንስፖርት እና ክሪስታል ምስረታ የሚያስፈልጉ ትክክለኛ የሙቀት ቅልጥፍናዎችን በመደገፍ የልኬት መረጋጋትን መጠበቅ አለበት። የግራፋይት ንፅህና እና ኢሶትሮፒክ መዋቅር በቀጥታ የንጽህና ውህደትን፣ የሙቀት ስርጭትን፣ የክሪስታል እድገት መጠንን እና የጉድለት ማመንጨትን ይነካል።
የከፍተኛ ንፁህ ኢሶስታቲክ ግራፋይት ክሩሲብልስ ሚና ከሲሲ ማምረቻ ባሻገር ወደ የላቀ የጋሊየም ናይትሬድ (GaN) ክሪስታል እድገት ቴክኖሎጂዎች ይዘልቃል። በHVPE፣ በፍሎውዝ እድገት ወይም በሚወጡ የጅምላ ክሪስታል ማምረቻ ዘዴዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ቢውል፣ የግራፋይት ክሩሲብል የቁሳቁስ መጓጓዣ እና ክሪስታል መፈጠርን የሚደግፍ የተረጋጋ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው አካባቢን ይሰጣል፣ የብክለት አደጋዎችን ይቀንሳል።
በሴሚኮንዳክተር ኤፒታክሲያል ቁስ ምርት ውስጥ፣ SiC ኤፒታክሲ፣ AlN ክሪስታል እድገት እና የላቀ የተዋሃደ ሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያን ጨምሮ፣ የግራፋይት ክሩሲሎች ለሙቀት ወጥነት እና ለሂደት ተደጋጋሚነት አስተዋጽኦ ያደርጋሉ። እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት አማቂነት እና ለሙቀት ድንጋጤ የመቋቋም አቅማቸው በከፍተኛ የሂደት ሁኔታዎች ውስጥ የተረጋጋ አሠራርን ያስችላሉ፣ ይህም የትነት፣ የንዑስ ክፍል እና የማስቀመጫ ዘዴዎችን ትክክለኛ ቁጥጥር ይደግፋል።
ከፍተኛ ንፁህነት ያለው ኢሶስታቲክ ግራፋይት ክሩሲብልስ በተራቀቁ የሴራሚክ ቁሳቁሶች እና በሶስተኛ ትውልድ ሴሚኮንዳክተር ዱቄቶች ማምረት ረገድ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ። የሲሊኮን ካርቦይድ፣ የአሉሚኒየም ናይትራይድ፣ ቦሮን ናይትራይድ እና ሌሎች ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸው ሴራሚክስ ሲንተሪንግ፣ ክሩሲብል ብክለትን በመቀነስ ጥግግትን የሚያበረታታ በኬሚካል የተረጋጋ እና በሙቀት ተመሳሳይ የሆነ አካባቢ ይሰጣል። በቁሳቁስ ንፅህና፣ በሙቀት አማቂነት እና በሜካኒካል አፈጻጸም ላይ የተደረጉት ማሻሻያዎች ከሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ክፍሎች እስከ ከፍተኛ ኃይል ያለው የኤሌክትሮኒክስ ማሸጊያ ድረስ ላሉ አፕሊኬሽኖች ወሳኝ ናቸው።
የኢንዱስትሪ አዝማሚያዎች እና የወደፊት ልማት
ሰፊ-ባንድ ክፍተት ሴሚኮንዳክተሮች የኃይል ኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪን መለወጡን ሲቀጥሉ፣ የላቁ የግራፋይት ክሩብልስ ፍላጎት በፍጥነት እየጨመረ ነው።
እጅግ በጣም ከፍተኛ የንፅህና መስፈርቶች
የወደፊት የሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች ከ 5 ppm በታች የንጽህና ደረጃዎችን ይፈልጋሉ፣ እና በአንዳንድ ሁኔታዎች ደግሞ ትላልቅ የክሪስታል መጠኖችን እና ዝቅተኛ የጉድለት እፍጋትን ለመደገፍ 1 ppm መድረስ አለባቸው።
የሽፋን ቴክኖሎጂዎች
የተራቀቁ የወለል ሽፋኖች በግራፊት ክሩብልስ ላይ ከጊዜ ወደ ጊዜ እየተገበሩ ናቸው፣ የሚከተሉትንም ጨምሮ፡
● የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ሽፋን
● የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን
● የፒሮሊቲክ ካርቦን (ፒሲሲ) ሽፋን
እነዚህ ሽፋኖች የሚከተሉትን ያሻሽላሉ:
● የዝገት መቋቋም
● የሙቀት መረጋጋት
● የዕድሜ ልክ አፈጻጸም
● የሂደት ንፅህና
● ትላልቅ የክሩሲብል ዲዛይኖች
የንግድ ሥራ፡-
● 8-ኢንች የሲሲ ዋፈርስ
● ትላልቅ የ GaN ንጣፎች
● የላቀ የኃይል ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶች
በተራዘሙ የምርት ዑደቶች ላይ ትክክለኛ የሙቀት ቁጥጥርን ለመጠበቅ የሚችሉ ትላልቅ፣ ይበልጥ ልኬት ያላቸው የተረጋጉ የግራፋይት ክሩሽሎች እንዲፈጠሩ እያደረገ ነው።








