Өндөр цэвэршилттэй изостатик бал чулуун тигель

VET Energy нь дээд зэргийн чанартай бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэх чиглэлээр мэргэшсэнӨндөр цэвэршилттэй изостатик бал чулуун тигельхагас дамжуулагч болон дэвшилтэт материалын хэрэглээнд зориулагдсан. Хэт нарийн ширхэгтэй изостатик бал чулуугаар үйлдвэрлэж, өндөр температурт галоген цэвэршүүлэх процессоор цэвэршүүлсэн манай бал чулуун тигель нь онцгой дулааны тогтвортой байдал, бага хольцын түвшин, хэт хүнд нөхцөлд гайхалтай хэмжээст тогтвортой байдлыг хангадаг.

SiC талстын өсөлт, GaN талстын үйлдвэрлэл, эпитаксиаль материалын үйлдвэрлэл, дэвшилтэт керамик хайлшжуулалтад өргөн хэрэглэгддэг, өндөр цэвэршилттэйИзостатик Графит Тигельs нь орчин үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн явцад талстын чанар, үйл явцын тогтвортой байдал, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг хангахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.

Өндөр цэвэршилттэй изостатик графит тигель гэж юу вэ?

Өндөр цэвэршилттэй изостатик графит тигель нь изостатик шахалтын процессоор үүссэн изотроп графит материалаар хийгдсэн нарийн инженерчлэлийн сав юм. Уламжлалт хэвэнд цутгасан графит бүтээгдэхүүнтэй харьцуулахад изостатик графит нь дараахь зүйлийг санал болгодог.

● Бүх чиглэлд жигд бичил бүтэцтэй

● Өндөр нягтрал болон механик бат бэх

● Дулаан дамжуулалтын дээд зэрэглэлийн

● Дулааны цохилтод маш сайн тэсвэртэй

● Бага сүвэрхэг чанар

● Хэт бага хольцын агууламжтай

Цэвэршүүлсний дараа үнсний агууламжийг ихэвчлэн 5 ppm-ээс доош хянаж болох бөгөөд зарим хагас дамжуулагч зэрэглэлийн материалын хольцын түвшин 3 ppm-ээс доош байдаг.

Эдгээр шинж чанарууд нь өндөр цэвэршилттэй изостатик графит тигелийг бохирдлын хяналт болон дулааны жигд байдал чухал ач холбогдолтой 2000°C-аас дээш температурт боловсруулахад тохиромжтой болгодог.

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн үүрэг

Физик уурын тээвэрлэлт (PVT) процессыг ашиглан цахиурын карбид (SiC) талстын өсөлтөд бал чулуун тигель нь эх материалын агуулах сав болон дулааны талбайн системийн салшгүй хэсэг болж үйлчилдэг. Ихэвчлэн 2200°C-аас дээш температурт ажилладаг тул тигель нь уурын тээвэрлэлт болон талст үүсэхэд шаардлагатай нарийн температурын градиентийг хадгалахын зэрэгцээ хэмжээст тогтвортой байдлыг хадгалах ёстой. Бал чулуун цэвэршилт ба изотроп бүтэц нь хольцын нэгдэл, дулааны тархалт, талстын өсөлтийн хурд, согог үүсэхэд шууд нөлөөлдөг.

Өндөр цэвэршилттэй изостатик графитын тигелийн үүрэг нь SiC үйлдвэрлэлээс гадна дэвшилтэт галлий нитрид (GaN) талст ургуулах технологи хүртэл үргэлжилдэг. HVPE, флюс ургалт эсвэл шинээр гарч ирж буй бөөн талст үйлдвэрлэлийн аргуудад ашигласан эсэхээс үл хамааран графитын тигель нь бохирдлын эрсдлийг багасгахын зэрэгцээ материалын тээвэрлэлт болон талст үүсэхийг дэмждэг тогтвортой өндөр температурын орчныг бүрдүүлдэг.

SiC эпитакси, AlN талстын өсөлт, дэвшилтэт нэгдлүүдийн хагас дамжуулагч боловсруулалт зэрэг хагас дамжуулагч эпитаксиал материалын үйлдвэрлэлд бал чулуун тигель нь дулааны жигд байдал болон процессын давтагдах чадварыг нэмэгдүүлдэг. Тэдгээрийн маш сайн дулаан дамжуулалт болон дулааны цочролд тэсвэртэй байдал нь хэт туйлын процессын нөхцөлд тогтвортой ажиллах боломжийг олгодог бөгөөд ууршилт, сублимаци, тунадасжуулалтын механизмыг нарийн хянах боломжийг олгодог.

Өндөр цэвэршилттэй изостатик графит тигель нь дэвшилтэт керамик материал болон гурав дахь үеийн хагас дамжуулагч нунтаг үйлдвэрлэхэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Цахиурын карбид, хөнгөн цагаан нитрид, борын нитрид болон бусад өндөр хүчин чадалтай керамикийг шатаах явцад тигель нь бохирдлыг багасгахын зэрэгцээ нягтралыг дэмждэг химийн хувьд тогтвортой, дулааны хувьд жигд орчинг бүрдүүлдэг. Үүний үр дүнд материалын цэвэршилт, дулаан дамжуулалт, механик гүйцэтгэлийн сайжруулалт нь хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдээс эхлээд өндөр хүчин чадалтай электрон сав баглаа боодол хүртэлх хэрэглээнд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.

Салбарын чиг хандлага ба ирээдүйн хөгжил

Өргөн зурвасын завсартай хагас дамжуулагчид цахилгаан электроникийн үйлдвэрлэлийг үргэлжлүүлэн өөрчлөхийн хэрээр дэвшилтэт бал чулуун тигелийн эрэлт хурдацтай нэмэгдэж байна.

Хэт өндөр цэвэршилтийн шаардлага

Ирээдүйн хагас дамжуулагчийн хэрэглээнд том талст хэмжээ болон бага нягтралыг дэмжихийн тулд хольцын түвшин 5 ppm-ээс доош, зарим тохиолдолд 1 ppm-д ойртох шаардлагатай.

Бүрээсний технологиуд

Графит тигель дээр дэвшилтэт гадаргуугийн бүрхүүлийг улам бүр хэрэглэж байна, үүнд:

● Цахиурын карбид (SiC) бүрхүүл

● Тантал карбид (TaC) бүрээс

● Пиролит нүүрстөрөгч (PyC) бүрхүүл

Эдгээр бүрхүүлүүд нь дараахь зүйлийг сайжруулдаг.

● Зэврэлтээс хамгаалах чадвар

● Дулааны тогтвортой байдал

● Насан туршийн гүйцэтгэл

● Үйл явцын цэвэр байдал

● Том хэмжээтэй тигелийн загварууд

Дараах зүйлсийг арилжаажуулах нь:

● 8 инчийн SiC вафли

● Том GaN суурь

● Дэвшилтэт цахилгаан хагас дамжуулагч материалууд

нь урт хугацааны үйлдвэрлэлийн мөчлөгийн туршид нарийн дулааны хяналтыг хадгалах чадвартай, илүү том хэмжээтэй, илүү тогтвортой графит тигелийн хөгжлийг дэмжиж байна.