Didelio grynumo izostatinis grafito tiglis

„VET Energy“ specializuojasi aukščiausios kokybės gaminių gamyboje.Didelio grynumo izostatinis grafito tiglisSukurta reiklioms puslaidininkių ir pažangių medžiagų reikmėms. Pagaminti iš itin smulkiagrūdžio izostatinio grafito ir išgryninti aukštos temperatūros halogenų gryninimo procesais, mūsų grafitiniai tigliai pasižymi išskirtiniu terminiu stabilumu, mažu priemaišų kiekiu ir išskirtiniu matmenų pastovumu ekstremaliomis eksploatavimo sąlygomis.

Plačiai naudojamas SiC kristalų auginimui, GaN kristalų gamybai, epitaksinių medžiagų gamybai ir pažangiam keramikos sukepinimui, didelio grynumoIzostatinis grafito tiglisatlieka itin svarbų vaidmenį užtikrinant kristalų kokybę, proceso stabilumą ir gamybos efektyvumą visoje šiuolaikinėje puslaidininkių gamyboje.

Kas yra didelio grynumo izostatinis grafito tiglis?

Didelio grynumo izostatinis grafito tiglis yra tiksliai sukonstruotas konteineris, pagamintas iš izotropinių grafito medžiagų, suformuotų izostatinio presavimo būdu. Palyginti su įprastais liejimo būdu pagamintais grafito gaminiais, izostatinis grafitas pasižymi:

● Vienoda mikrostruktūra visomis kryptimis

● Didesnis tankis ir mechaninis stiprumas

● Puikus šilumos laidumas

● Puikus atsparumas terminiam smūgiui

● Mažas poringumas

● Itin mažas priemaišų kiekis

Po valymo pelenų kiekis paprastai gali būti kontroliuojamas žemiau 5 ppm, o kai kuriose puslaidininkinėse medžiagose priemaišų lygis pasiekia mažesnį nei 3 ppm.

Dėl šių savybių didelio grynumo izostatiniai grafitiniai tigliai idealiai tinka aukštos temperatūros procesams, viršijantiems 2000 °C, kur labai svarbi užterštumo kontrolė ir terminis vienodumas.

Vaidmenys puslaidininkių gamyboje

Silicio karbido (SiC) kristalų auginimo fizikinio garų pernašos (PVT) procese grafitiniai tigliai veikia ir kaip žaliavos talpykla, ir kaip neatsiejama terminio lauko sistemos dalis. Veikiant temperatūroje, paprastai viršijančioje 2200 °C, tiglis turi išlaikyti matmenų stabilumą, kartu palaikydamas tikslius temperatūros gradientus, reikalingus garų pernašai ir kristalų formavimuisi. Grafito grynumas ir izotropinė struktūra tiesiogiai veikia priemaišų įsiskverbimą, terminį pasiskirstymą, kristalų augimo greitį ir defektų susidarymą.

Didelio grynumo izostatinių grafitinių tiglių vaidmuo neapsiriboja SiC gamyba ir apima pažangias galio nitrido (GaN) kristalų auginimo technologijas. Grafitiniai tigliai, naudojami HVPE, fliuso auginimo ar naujuose birių kristalų gamybos metoduose, užtikrina stabilią aukštos temperatūros aplinką, kuri palaiko medžiagų transportavimą ir kristalų formavimąsi, kartu sumažinant užteršimo riziką.

Puslaidininkinių epitaksinių medžiagų gamyboje, įskaitant SiC epitaksiją, AlN kristalų auginimą ir pažangų sudėtinių puslaidininkių apdorojimą, grafitiniai tigliai prisideda prie terminio vienodumo ir proceso pakartojamumo. Dėl puikaus šilumos laidumo ir atsparumo terminiam smūgiui jie užtikrina stabilų veikimą ekstremaliomis proceso sąlygomis, tiksliai valdydami garavimo, sublimacijos ir nusodinimo mechanizmus.

Didelio grynumo izostatiniai grafito tigliai taip pat atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį gaminant pažangias keramines medžiagas ir trečios kartos puslaidininkinius miltelius. Silicio karbido, aliuminio nitrido, boro nitrido ir kitų didelio našumo keramikų sukepinimo metu tiglis sukuria chemiškai stabilią ir termiškai vienodą aplinką, kuri skatina tankinimą ir sumažina užterštumą. Dėl to pagerėjęs medžiagos grynumas, šilumos laidumas ir mechaninės savybės yra labai svarbios įvairiose srityse – nuo ​​puslaidininkinių įrangos komponentų iki didelės galios elektroninių pakuočių.

Pramonės tendencijos ir būsima plėtra

Plačiajuosčiams puslaidininkiams toliau keičiant galios elektronikos pramonę, sparčiai auga pažangių grafitinių tiglių paklausa.

Itin aukšti grynumo reikalavimai

Ateities puslaidininkių taikymams reikės mažesnio nei 5 ppm priemaišų lygio, o kai kuriais atvejais artėjančio prie 1 ppm, kad būtų galima palaikyti didesnius kristalų dydžius ir mažesnį defektų tankį.

Dengimo technologijos

Grafito tigliai vis dažniau padengiami pažangiomis paviršiaus dangomis, įskaitant:

● Silicio karbido (SiC) danga

● Tantalo karbido (TaC) danga

● Pirolizės anglies (PyC) danga

Šios dangos pagerina:

● Atsparumas korozijai

● Terminis stabilumas

● Visą eksploatavimo laiką veikiantis našumas

● Proceso švara

● Didesni tiglio dizainai

Komercializavimas:

● 8 colių SiC plokštelės

● Didesni GaN substratai

● Pažangios galios puslaidininkinės medžiagos

skatina kurti didesnius, matmenimis stabilesnius grafitinio tiglio tiglius, galinčius išlaikyti tikslų terminį valdymą per ilgus gamybos ciklus.