உயர் தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் குருசிபிள்

VET எனர்ஜி உயர்தரமான பொருட்களை உற்பத்தி செய்வதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளது.உயர் தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் குருசிபிள்சவாலான குறைக்கடத்தி மற்றும் மேம்பட்ட பொருட்கள் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. மிக நுண்ணிய துகள்களைக் கொண்ட ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, உயர்-வெப்பநிலை ஹாலஜன் சுத்திகரிப்பு செயல்முறைகள் மூலம் சுத்திகரிக்கப்படுவதால், எங்கள் கிராஃபைட் மூசைகள் கடுமையான இயக்க நிலைமைகளின் கீழும் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை, குறைந்த அசுத்த நிலைகள் மற்றும் சிறந்த பரிமாண நிலைத்தன்மையை வழங்குகின்றன.

SiC படிக வளர்ச்சி, GaN படிக உற்பத்தி, எபிடெக்சியல் பொருள் உற்பத்தி மற்றும் மேம்பட்ட செராமிக் சின்டரிங் ஆகியவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும், உயர் தூய்மைஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் குருசிபிள்நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தி முழுவதும் படிகத் தரம், செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் உற்பத்தித் திறனை உறுதி செய்வதில் முக்கியப் பங்கு வகிக்கின்றன.

உயர் தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் மூசை என்றால் என்ன?

உயர் தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் மூசை என்பது, ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தும் செயல்முறையின் மூலம் உருவாக்கப்பட்ட ஐசோட்ரோபிக் கிராஃபைட் பொருட்களிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட, துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு கொள்கலன் ஆகும். வழக்கமான வார்ப்பு கிராஃபைட் தயாரிப்புகளுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் பின்வரும் அம்சங்களை வழங்குகிறது:

● அனைத்து திசைகளிலும் சீரான நுண்ணமைப்பு

● அதிக அடர்த்தி மற்றும் இயந்திர வலிமை

● மேம்பட்ட வெப்பக் கடத்துத்திறன்

● சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்புத் திறன்

● குறைந்த நுண்துளைத்தன்மை

● மிகக் குறைந்த அசுத்த உள்ளடக்கம்

சுத்திகரிப்புக்குப் பிறகு, சாம்பல் உள்ளடக்கத்தை பொதுவாக 5 ppm-க்கும் குறைவாகக் கட்டுப்படுத்த முடியும், மேலும் சில குறைக்கடத்தித் தரப் பொருட்களில் மாசு அளவு 3 ppm-க்கும் குறைவாக எட்டப்படுகிறது.

இந்தப் பண்புகள், மாசுக்கட்டுப்பாடு மற்றும் வெப்பச் சீரான தன்மை ஆகியவை இன்றியமையாத 2,000°C-க்கு மேற்பட்ட உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளுக்கு, உயர்-தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் மூசைகளை மிகவும் உகந்ததாக ஆக்குகின்றன.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பங்கு

இயற்பியல் ஆவிப் போக்குவரத்து (PVT) செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிகத்தை வளர்க்கும்போது, ​​கிராஃபைட் மூசைகள் மூலப்பொருளைக் கொண்டிருக்கும் கலனாகவும், வெப்பப் புல அமைப்பின் ஒரு ஒருங்கிணைந்த பகுதியாகவும் செயல்படுகின்றன. பொதுவாக 2,200°C-க்கு அதிகமான வெப்பநிலையில் இயங்கும்போது, ​​ஆவிப் போக்குவரத்து மற்றும் படிக உருவாக்கத்திற்குத் தேவையான துல்லியமான வெப்பநிலைச் சரிவுகளைத் தாங்குவதோடு, மூசையானது பரிமாண நிலைத்தன்மையையும் பராமரிக்க வேண்டும். கிராஃபைட்டின் தூய்மையும் ஒருபடித்தான கட்டமைப்பும், மாசுக் கலப்பு, வெப்பப் பரவல், படிக வளர்ச்சி விகிதம் மற்றும் குறைபாடு உருவாக்கம் ஆகியவற்றில் நேரடியாகத் தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகின்றன.

உயர் தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் மூசைகளின் பங்கு, சிலிக்கான் கார்பைட் (SiC) உற்பத்தியைத் தாண்டி, மேம்பட்ட காலியம் நைட்ரைடு (GaN) படிக வளர்ச்சித் தொழில்நுட்பங்கள் வரையிலும் நீள்கிறது. உயர் ஆவி படிக உற்பத்தி (HVPE), பாய்ம வளர்ச்சி அல்லது வளர்ந்து வரும் மொத்தப் படிக உற்பத்தி முறைகளில் பயன்படுத்தப்பட்டாலும், கிராஃபைட் மூசைகள், மாசுபடும் அபாயங்களைக் குறைப்பதோடு, பொருள் கடத்தலையும் படிக உருவாக்கத்தையும் ஆதரிக்கும் ஒரு நிலையான உயர்-வெப்பநிலைச் சூழலை வழங்குகின்றன.

SiC எபிடாக்ஸி, AlN படிக வளர்ச்சி மற்றும் மேம்பட்ட கூட்டு குறைக்கடத்தி செயலாக்கம் உள்ளிட்ட குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸியல் பொருள் உற்பத்தியில், கிராஃபைட் மூசைகள் வெப்பச் சீர்மைக்கும் செயல்முறை மீண்டும் மீண்டும் நிகழ்தன்மைக்கும் பங்களிக்கின்றன. அவற்றின் சிறந்த வெப்பக் கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு எதிரான எதிர்ப்புத்திறன் ஆகியவை தீவிரமான செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழும் நிலையான செயல்பாட்டைச் சாத்தியமாக்குவதோடு, ஆவியாதல், பதங்கமாதல் மற்றும் படிதல் வழிமுறைகளின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டிற்கும் துணைபுரிகின்றன.

உயர் தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் மூசைகள், மேம்பட்ட பீங்கான் பொருட்கள் மற்றும் மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தித் தூள்களின் உற்பத்தியிலும் முக்கியப் பங்கு வகிக்கின்றன. சிலிக்கான் கார்பைடு, அலுமினியம் நைட்ரைடு, போரான் நைட்ரைடு மற்றும் பிற உயர் செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான்களைச் சின்டரிங் செய்யும் போது, ​​இந்த மூசையானது வேதியியல் ரீதியாக நிலையான மற்றும் வெப்பரீதியாக சீரான ஒரு சூழலை வழங்குகிறது. இது, மாசுபடுதலைக் குறைக்கும் அதே வேளையில், அடர்த்தியாக்கத்தை ஊக்குவிக்கிறது. இதன் விளைவாகப் பொருளின் தூய்மை, வெப்பக் கடத்துத்திறன் மற்றும் இயந்திர செயல்திறனில் ஏற்படும் மேம்பாடுகள், குறைக்கடத்தி உபகரணக் கூறுகள் முதல் உயர்-சக்தி மின்னணு பேக்கேஜிங் வரையிலான பயன்பாடுகளுக்கு மிகவும் முக்கியமானவை.

தொழில்துறை போக்குகள் மற்றும் எதிர்கால வளர்ச்சி

அகன்ற பட்டை இடைவெளி குறைக்கடத்திகள் ஆற்றல் மின்னணுவியல் துறையைத் தொடர்ந்து உருமாற்றி வருவதால், மேம்பட்ட கிராஃபைட் மூசைகளுக்கான தேவை வேகமாக அதிகரித்து வருகிறது.

மிக உயர்ந்த தூய்மைத் தேவைகள்

எதிர்கால குறைக்கடத்திப் பயன்பாடுகளுக்கு, பெரிய படிக அளவுகளையும் குறைந்த குறைபாட்டு அடர்த்தியையும் ஆதரிப்பதற்காக, மாசு அளவுகள் 5 ppm-க்கும் குறைவாகவும், சில சமயங்களில் 1 ppm-ஐ நெருங்கும் அளவிலும் இருக்க வேண்டும்.

பூச்சு தொழில்நுட்பங்கள்

கிராஃபைட் மூசைகளில் மேம்பட்ட மேற்பரப்புப் பூச்சுகள் அதிகளவில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவற்றுள் அடங்குபவை:

● சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு

● டாண்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு

● வெப்பச்சிதைவு கார்பன் (PyC) பூச்சு

இந்தப் பூச்சுகள் மேம்படுத்துகின்றன:

● அரிப்பு எதிர்ப்பு

● வெப்ப நிலைத்தன்மை

● வாழ்நாள் செயல்திறன்

● செயல்முறை தூய்மை

● பெரிய மூசை வடிவமைப்புகள்

வணிகமயமாக்கல்:

● 8-அங்குல SiC வேஃபர்கள்

● பெரிய GaN அடி மூலக்கூறுகள்

● மேம்பட்ட சக்தி குறைக்கடத்தி பொருட்கள்

நீண்ட உற்பத்திச் சுழற்சிகளின் போது துல்லியமான வெப்பக் கட்டுப்பாட்டைப் பராமரிக்கக்கூடிய, பெரிய மற்றும் அதிக பரிமாண நிலைத்தன்மை கொண்ட கிராஃபைட் மூசைகளின் உருவாக்கத்தை இது ஊக்குவிக்கிறது.